Siliziumkarbid-Kassettenboote

SemicorexSiliziumkarbid-Kassettenbootesind die unverzichtbaren Tragekomponenten, die mit ihrer stabilen und hochfesten Struktur mehrere Halbleiterwafer sicher und präzise halten, transportieren und handhaben. Sie werden häufig in den verschiedenen Hochtemperatur-Halbleiterprozessen eingesetzt, um eine optimierte Wärme- und Gasflussverteilung für konsistente Verarbeitungsergebnisse sicherzustellen.

Sorgfältig ausgewähltes Rohmaterial

Die Semicorex-Siliziumkarbid-Kassettenboote werden durch Hochtemperatursintern präzise aus Siliziumkarbidpulver in Halbleiterqualität hergestellt und verfügen über die folgenden hervorragenden Eigenschaften.

1.Ultrahohe Reinheit:Der Verunreinigungsgehalt des Substrats wird auf unter 100 ppm und der Verunreinigungsgrad kontrolliertCVD-SiliziumkarbidDie Beschichtung kann weniger als 1 PPM erreichen.

2.Zuverlässige Korrosionsbeständigkeit:Siliziumkarbidkeramik bietet eine starke Korrosionsbeständigkeit und ist beständig gegen Korrosion durch die meisten Säuren (wie Salzsäure, Schwefelsäure und Flusssäure), Laugen (wie Natronlauge), Lösungsmittel und oxidierende Medien.

3. Außergewöhnliche Wärmemanagementkapazität:Aufgrund ihrer außergewöhnlichen Wärmebeständigkeit und ihres niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten können Kassettenboote aus Siliziumkarbid ihre chemischen Eigenschaften und ihre mechanische Festigkeit auch dann beibehalten, wenn sie längeren Betriebsbedingungen bei hohen Temperaturen um 1250 °C ausgesetzt sind.

Präzisionsgefertigte Struktur

1. Horizontale Rahmenstruktur:Durch die horizontale Rahmenstruktur der Semicorex-Siliziumkarbid-Kassettenschiffchen passen sie perfekt in horizontale Hochtemperaturofenrohre.

2. Gleichmäßig verteilte Schlitzkerben:Mit zahlreichen gleichmäßig verteilten Schlitzkerben können die Siliziumkarbid-Kassettenschiffchen von Semicorex den Wafer fest an Ort und Stelle halten, wodurch unerwünschte Kratzer, Abrieb und Schäden, die aus der Waferverschiebung resultieren, erheblich verhindert werden können, wodurch die Stabilität des Halbleiterprozesses und die Waferausbeute effektiv gewährleistet werden.

3. Multi-Slot-Design:Mehrere Schlitze für die Aufnahme mehrerer Wafer ermöglichen es den Semicorex-Siliziumkarbid-Kassettenbooten, ihren Verarbeitungsdurchsatz für einzelne Chargen und die Gesamtproduktionseffizienz zu verbessern.

4. Offene Architektur:Semicorex-Siliziumkarbid-Kassettenboote sind mit der durchdachten offenen Architektur ausgestattet, die dazu beitragen kann, eine gleichmäßige Gasverteilung und ausreichenden Reaktionskontakt zu erreichen, wodurch inkonsistente Prozessergebnisse wirksam minimiert werden.