Cantilever-Paddel aus Siliziumkarbid

Auslegerpaddel aus Siliziumkarbid von Semicorex werden typischerweise mit horizontalen Waferbooten in Hochtemperatur-Verarbeitungsöfen verwendet. Sie können einen präzisen und reibungslosen Transfer von Wafer-Booten in und aus Ofenrohren gewährleisten und so die Stabilität und Ausbeute der Halbleiterfertigung erheblich unterstützen. Die Semicorex-Siliziumkarbid-Cantilever-Paddel wurden speziell für die Waferbehandlung bei hohen Temperaturen entwickelt und funktionieren bei etwa 1250 °C unter einer rauen Arbeitsatmosphäre, die aus Sauerstoff (Reaktionsgas), Stickstoff (Schutzgas) und einer kleinen Menge Chlorwasserstoff besteht.

Hochwertige Materialauswahl

Premiumprodukte setzen auf edle Rohstoffe. Semicorex verwendet hochreines Siliziumkarbid-Rohmaterial, um sicherzustellen, dass unsere freitragenden Siliziumkarbid-Paddel in der gesamten Branche von höchster Qualität sind. Ihre Basen bestehen aus hochwertigem reaktionsgebundenem Siliziumkarbid mit einem Verunreinigungsgehalt von unter 100 ppm und ihre Oberflächen sind mit einer CVD-SiC-Beschichtung bedeckt, bei der die Verunreinigungen unter 1 ppm gehalten werden. Dieses hochwertige Material zur Herstellung von Semicorex-Siliziumkarbid-Auslegerpaddeln bietet die unten aufgeführten hervorragenden Eigenschaften.

1. Ultrahohe Sauberkeit:SemicorexSiliziumkarbidAuslegerpaddel zeichnen sich durch eine hohe Reinheit aus und geben während des Betriebs keine unerwünschten Verunreinigungen ab, wodurch eine Kontamination von Wafern und Verarbeitungsöfen grundsätzlich vermieden wird.

2. Stabile thermische Stabilität:Auslegerschaufeln aus Semicorex-Siliziumkarbid arbeiten zuverlässig bei 1250 °C und überstehen starke Temperaturschwankungen beim Betreten und Verlassen des Ofens, ohne dass es zu Verformungen oder Rissen kommt.

3. Überlegene mechanische Festigkeit:Die freitragenden Paddel aus Semicorex-Siliziumkarbid zeichnen sich durch hohe Härte und Festigkeit aus und können Abnutzung und Kratzern bei häufigem Schieben und Ziehen standhalten.

4. Zuverlässige Korrosionsbeständigkeit:SemicorexCantilever-Paddel aus Siliziumkarbidkönnen dank ihrer bemerkenswerten chemischen Stabilität starker Korrosion durch starke Laugen und Säuren standhalten.

Rücksichtsvolles Design und Präzisionsbearbeitung

Semicorexnutzt die integrierte 3D-Drucktechnologie, um freitragende Paddel aus Siliziumkarbid zu formen, wodurch sie frei von schwachen Spannungspunkten an den Verbindungen sind und eine zuverlässige Belastbarkeit während des Betriebs bieten. Es unterstützt auch die volldimensionale Anpassung von Cantilever-Paddeln aus Siliziumkarbid. Auslegerpaddel können in Länge, Struktur und Schnittstellenspezifikation genau angepasst werden und sind so erhältlich, dass sie perfekt zu Ofenrohrdurchmessern, Waferbootabmessungen, automatisierten Beladesystemen und spezifischen Prozessanforderungen passen.