Perfekt für Lithographie- und Wafer-Handhabungsanwendungen der nächsten Generation, Semicorex-Buchsen aus ultrareinem Siliziumkarbid gewährleisten minimale Kontamination und bieten eine außergewöhnlich lange Lebensdauer. Unsere Produkte haben einen guten Preisvorteil und decken viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
Die ultraflache Semicorex-Siliziumkarbidbuchse ist ein hochreines gesintertes Siliziumkarbid, das eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit und eine große Stabilität in extremen Umgebungen einschließlich hoher Temperaturen und korrosiver Arbeitssituationen aufweist.
Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger Siliziumkarbid-Buchsen, wir legen Wert auf Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und einen außergewöhnlichen Kundenservice liefert.
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Parameter der Siliziumkarbidbuchse
Technische Eigenschaften |
||||
Index |
Einheit |
Wert |
||
Material Name |
Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid |
Drucklos gesintertes Siliziumkarbid |
Rekristallisiertes Siliziumkarbid |
|
Komposition |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Schüttdichte |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Biegefestigkeit |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Druckfestigkeit |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Härte |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Hartnäckigkeit brechen |
MPa·m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Wärmeleitfähigkeit |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Der Wärmeausdehnungskoeffizient |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Spezifische Wärme |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maximale Temperatur in der Luft |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastizitätsmodul |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Der Unterschied zwischen SSiC und RBSiC:
1. Der Sinterprozess ist anders. RBSiC soll freies Si bei niedriger Temperatur in Siliziumkarbid infiltrieren, SSiC wird durch natürliches Schrumpfen bei 2100 Grad gebildet.
2. SSiC hat eine glattere Oberfläche, eine höhere Dichte und eine höhere Festigkeit. Für einige Dichtungen mit strengeren Oberflächenanforderungen ist SSiC besser.
3. Unterschiedliche Nutzungszeiten bei unterschiedlichen pH-Werten und Temperaturen, SSiC ist länger als RBSiC
Merkmale der Siliziumkarbidbuchse
Hochreiner SiC-beschichteter Graphit
Hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit
Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche
Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung
Das Material ist so konzipiert, dass keine Risse und Delaminationen auftreten.
Verfügbare Formen von Siliziumkarbid-Keramik
â Keramikstab / Keramikstift / Keramikkolben
â Keramikrohr / Keramikbuchse / Keramikhülse
â Keramikring / Keramikscheibe / Keramikabstandshalter
â Keramikscheibe
â Keramikplatte / Keramikblock
â Keramikkugel
â Keramikkolben
â Keramikdüse
â Keramiktiegel
â Andere kundenspezifische Keramikteile