SiC-Waferhalter

Der SiC-Waferhalter von Semicorex besteht aus hochreinem Siliziumkarbid, das eine hervorragende thermische Stabilität, mechanische Festigkeit und chemische Beständigkeit aufweist. Diese Materialien werden ausgewählt, um Verunreinigungen zu minimieren, Schäden an den Wafern zu verhindern und den anspruchsvollen Bedingungen der Halbleiterverarbeitung standzuhalten.

Bei thermischen Prozessen wie Tempern oder Diffusion spielt der SiC-Waferhalter eine entscheidende Rolle bei der Aufrechterhaltung einer gleichmäßigen Temperaturverteilung über die Waferoberfläche. Seine hohe Wärmeleitfähigkeit ermöglicht eine effiziente Wärmeübertragung, minimiert Wärmegradienten und sorgt für konsistente Prozessergebnisse.

SiC-Waferhalter sind häufig für die Aufnahme bestimmter Wafergrößen konzipiert, die je nach Anwendung von einigen Zoll bis hin zu größeren Durchmessern reichen. Sie können über mehrere Halter verfügen, die in einer Kassette oder einem Träger angeordnet sind, um die Chargenverarbeitung zu erleichtern und den Durchsatz zu erhöhen.

Der SiC-Waferhalter von Semicorex ist ein wichtiges Werkzeug in der Halbleiterfertigung und bietet eine sichere und stabile Plattform für Siliziumkarbid-Wafer während verschiedener Verarbeitungsschritte. Sein Design und seine Materialzusammensetzung gewährleisten die Integrität des Wafers, ermöglichen eine gleichmäßige Temperaturverteilung und ermöglichen eine effiziente Waferhandhabung und -verarbeitung.