SiC-Wafer-Boot

Semicorex bietet Waferboote, Sockel und kundenspezifische Waferträger sowohl für vertikale/Säulen- als auch horizontale Konfigurationen. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Siliziumkarbid-Beschichtungsfolien. Unser SiC-Wafer-Boot hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Wir stellen Ihnen unser hochwertiges SiC-Wafer-Boot vor, das eine zuverlässige Lösung für die Waferverarbeitung in verschiedenen Branchen bietet. Diese Keramiksockel werden aus hochreiner Keramik hergestellt, die eine hervorragende Beständigkeit gegen Thermoschock, Abrieb und chemische Korrosion bietet und sich daher ideal für raue Umgebungen bei der Waferverarbeitung eignet.
Unsere SiC-Wafer-Boote sind außerdem hochgradig anpassbar, und wir können mit Ihnen zusammenarbeiten, um maßgeschneiderte Sockel zu erstellen, die Ihren individuellen Spezifikationen entsprechen. Wir sind stolz auf unsere Fähigkeit, qualitativ hochwertige und zuverlässige Produkte zu liefern, die den Anforderungen unserer Kunden entsprechen. Unsere Keramik-Wafer-Boote sind auf Langlebigkeit ausgelegt und bieten eine lange Lebensdauer, sodass Sie den größtmöglichen Nutzen aus Ihrer Investition ziehen.
Bestellen Sie jetzt und erleben Sie die Vorteile unseres hochwertigen SiC-Wafer-Bootes in Ihren Wafer-Verarbeitungsbetrieben.

Parameter des SiC-Wafer-Bootes

Technische Eigenschaften
Index	Einheit	Wert
Materialname		Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid	Drucklos gesintertes Siliziumkarbid	Rekristallisiertes Siliziumkarbid
Zusammensetzung		RBSiC	SSiC	R-SiC
Schüttdichte	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Biegefestigkeit	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90–100 (1400 °C)
Druckfestigkeit	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Härte	Taste	2700	2800	/
Hartnäckigkeit brechen	MPa m1/2	4.5	4	/
Wärmeleitfähigkeit	W/m.k	95	120	23
Wärmeausdehnungskoeffizient	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Spezifische Wärme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximale Temperatur in der Luft	℃	1200	1500	1600
Elastizitätsmodul	Gpa	360	410	240

Merkmale des SiC-Wafer-Bootes

- CVD-Siliziumkarbid-Beschichtungen zur Verbesserung der Lebensdauer.
- Wärmedämmung aus hochleistungsgereinigtem Hartkohlenstoff.
- Sie verfügen über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften.
- Hochreine Keramik- und SiC-Beschichtung für Pinhole-Resistenz und längere Lebensdauer