SiC-Waferboot
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SiC-Waferboot

Semicorex bietet Waferboote, Sockel und kundenspezifische Waferträger für vertikale/Säulen- und horizontale Konfigurationen an. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Beschichtungsfilmen aus Siliziumkarbid. Unser SiC-Waferboot hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Wir stellen unser hochwertiges SiC-Waferboot vor, das eine zuverlässige Lösung für die Waferverarbeitung in verschiedenen Branchen bietet. Diese Keramiksockel werden aus hochreiner Keramik hergestellt, die eine hervorragende Beständigkeit gegen Temperaturschock, Abrieb und chemische Korrosion bietet, wodurch sie sich ideal für raue Waferverarbeitungsumgebungen eignen.
Unsere SiC-Waferboote sind auch in hohem Maße anpassbar, und wir können mit Ihnen zusammenarbeiten, um kundenspezifische Sockel zu erstellen, die Ihren einzigartigen Spezifikationen entsprechen. Wir sind stolz auf unsere Fähigkeit, qualitativ hochwertige, zuverlässige Produkte zu liefern, die die Anforderungen unserer Kunden erfüllen. Unsere Keramik-Waferboote sind auf Langlebigkeit ausgelegt und bieten eine lange Lebensdauer, sodass Sie den größtmöglichen Nutzen aus Ihrer Investition ziehen.
Bestellen Sie jetzt und erleben Sie die Vorteile unseres hochwertigen SiC-Waferboots in Ihrer Waferverarbeitung.


Parameter des SiC-Waferboots

Technische Eigenschaften

Index

Einheit

Wert

Material Name

Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid

Drucklos gesintertes Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid

Komposition

RBSiC

SSiC

R-SiC

Schüttdichte

g/cm3

3

3,15 ± 0,03

2,60-2,70

Biegefestigkeit

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

Druckfestigkeit

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

Härte

Knoop

2700

2800

/

Hartnäckigkeit brechen

MPa·m1/2

4.5

4

/

Wärmeleitfähigkeit

W/m.k

95

120

23

Der Wärmeausdehnungskoeffizient

10-6.1/°C

5

4

4.7

Spezifische Wärme

Joule/g 0k

0.8

0.67

/

Maximale Temperatur in der Luft

1200

1500

1600

Elastizitätsmodul

Gpa

360

410

240


Merkmale des SiC-Waferboots

- CVD-Siliziumkarbidbeschichtungen zur Verbesserung der Lebensdauer.
- Wärmeisolierung aus hochleistungsfähigem, gereinigtem Hartkohlenstoff.
- Haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften.
- Hochreine Keramik- und SiC-Beschichtung für Pinhole-Resistenz und längere Lebensdauer



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