SiC-Waferboot

Semicorex bietet Waferboote, Sockel und kundenspezifische Waferträger für vertikale/Säulen- und horizontale Konfigurationen an. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Beschichtungsfilmen aus Siliziumkarbid. Unser SiC-Waferboot hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Wir stellen unser hochwertiges SiC-Waferboot vor, das eine zuverlässige Lösung für die Waferverarbeitung in verschiedenen Branchen bietet. Diese Keramiksockel werden aus hochreiner Keramik hergestellt, die eine hervorragende Beständigkeit gegen Temperaturschock, Abrieb und chemische Korrosion bietet, wodurch sie sich ideal für raue Waferverarbeitungsumgebungen eignen.
Unsere SiC-Waferboote sind auch in hohem Maße anpassbar, und wir können mit Ihnen zusammenarbeiten, um kundenspezifische Sockel zu erstellen, die Ihren einzigartigen Spezifikationen entsprechen. Wir sind stolz auf unsere Fähigkeit, qualitativ hochwertige, zuverlässige Produkte zu liefern, die die Anforderungen unserer Kunden erfüllen. Unsere Keramik-Waferboote sind auf Langlebigkeit ausgelegt und bieten eine lange Lebensdauer, sodass Sie den größtmöglichen Nutzen aus Ihrer Investition ziehen.
Bestellen Sie jetzt und erleben Sie die Vorteile unseres hochwertigen SiC-Waferboots in Ihrer Waferverarbeitung.

Parameter des SiC-Waferboots

Technische Eigenschaften
Index	Einheit	Wert
Material Name		Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid	Drucklos gesintertes Siliziumkarbid	Rekristallisiertes Siliziumkarbid
Komposition		RBSiC	SSiC	R-SiC
Schüttdichte	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Biegefestigkeit	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Druckfestigkeit	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Härte	Knoop	2700	2800	/
Hartnäckigkeit brechen	MPa·m1/2	4.5	4	/
Wärmeleitfähigkeit	W/m.k	95	120	23
Der Wärmeausdehnungskoeffizient	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Spezifische Wärme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximale Temperatur in der Luft	℃	1200	1500	1600
Elastizitätsmodul	Gpa	360	410	240

Merkmale des SiC-Waferboots

- CVD-Siliziumkarbidbeschichtungen zur Verbesserung der Lebensdauer.
- Wärmeisolierung aus hochleistungsfähigem, gereinigtem Hartkohlenstoff.
- Haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften.
- Hochreine Keramik- und SiC-Beschichtung für Pinhole-Resistenz und längere Lebensdauer