Sic vertikale Boote

Semicorex -Sic -vertikale Boote werden Waferträger ausgelegt, ausgelegt und hergestellt, um die höchste thermische, mechanische und chemische Stabilität für die Verarbeitung der vertikalen Ofen zu bieten. Aus hoher Purität gebautSiliziumkarbidWir glauben, dass sie das beste Gleichgewicht zwischen Stärke, Haltbarkeit und Sauberkeit für eine sehr fortgeschrittene Wärmeverarbeitung sind, die als Oxidation, Diffusion, LPCVD und Tempern in vertikalen Ofensystemen bezeichnet wird.

Die vertikalen Ofenverarbeitungsumgebungen erfordern ein Wafer-Unterstützungssystem, das wiederholte Expositionen bei hoher Temperatur standhalten kann, die häufig 1.200 ° C überschreiten, und bleiben ohne Kontaminationsprobleme Dimensionen stabil. Sic vertikale Boote zeichnen sich in diesen Situationen aufgrund der intrinsischen mechanischen und thermischen Eigenschaften von rekristallisiertem oder CVD -Siliziumkarbid in ihrer Robustheit aus. Ihr extrem niedriger thermischer Expansionskoeffizient sorgt für minimale Verzerrungen oder Verzerrungen aufgrund des schnellen thermischen Radfahrens. Darüber hinaus bietet die hohe thermische Leitfähigkeit die größte Homogenität der lokalen Temperatur für alle Wafer, was für die Konsistenz der Schichtdicke, die Dopingprofile und die elektrische Leistung von entscheidender Bedeutung ist. Wichtige Aspekte der hochvolumigen Herstellung in der Halbleiterindustrie.

Im Vergleich zu herkömmlichen Quarzbooten bieten sic vertikale Boote eine überlegene mechanische Stärke und eine verlängerte Lebensdauer. Quartz wird im Laufe der Zeit in der Regel spröde und devitrify, insbesondere in aggressiven Ofenchemien, was zu höheren Ersatzkosten und potenziellen Produktionsunterbrechungen führt. Im Gegensatz dazu behält Siliziumcarbid seine Integrität auch nach längerer Exposition gegenüber ätzenden Gasen wie Chlor, HCl oder Ammoniak bei, die bei verschiedenen Diffusions- und LPCVD -Prozessen häufig sind. Sein außergewöhnlicher Verschleiß- und Oxidationsbeständigkeit reduziert die Partikelerzeugung erheblich und trägt dazu bei, Waferoberflächen vor Kontaminationen und Defektbildung zu schützen.

Die vertikalen SIC-Boote bieten auch einen erheblichen Nutzen in Bezug auf die ultra-verarbeitete Verarbeitung. Hochpurity-SIC-Material wird unter strenger Sorgfalt verarbeitet, um identifizierbare Verunreinigungsmetalle zu verringern, die die Betriebsmerkmale von Halbleitergeräten beeinträchtigen können. Die vertikalen Bootsflächen sind mit rechtwinkligen Merkmalen gut fertiggestellt, die die Wahrscheinlichkeit von Mikropartikeln minimieren. SiC -Oberflächen sind chemisch inert und reagieren nicht mit Prozessgasen und sind daher weniger anfällig für Kontaminationen. In dieser Hinsicht eignen sich die vertikalen SIC -Boote gut für das vordere Ende der Linie (FEOL) und für das hintere Ende der Linie (BEOL) -Waferverarbeitungsvorgänge.

Die vertikalen SIC -Boote bieten auch Designflexibilität. Jedes vertikale Boot kann ausgelegt sein, um mehrere Waferdurchmesser (150 mm, 200 mm oder 300 mm Wafer) aufzunehmen, und die Schlitznummer und der Abstand können verwendet werden, um die Prozessanforderungen zu erfüllen. Präzisionsbearbeitung und dimensionale Kontrolle ermöglichen eine ordnungsgemäße Waferausrichtung und die Wafer-Unterstützung, um die Wahrscheinlichkeit von Mikrokratzern oder Spannungsrissen während des Ladens, Verarbeitung und Entladens zu minimieren. Wenn für einen bestimmten Prozess eine überlegene Gleichmäßigkeit der Temperatur und / oder weniger thermische Masse erforderlich ist, können optimierte Geometrien und Slot -Designs in sic vertikale Bootskonfigurationen aufgenommen werden, ohne mechanische Eigenschaften zu beeinträchtigen.

Ein weiterer Vorteil ist die Wartung und die betriebliche Effizienz. Die starre Konstruktion vonSicVertikale Boote verkürzen die Austauschzeit und -häufigkeit und minimieren so Ausfallzeiten oder Eigentumskosten. Der thermische Schockwiderstand von SIC ermöglicht kürzere Erwärmungs- und Kühlzyklen, um einen höheren Durchsatz für Produktionslinien zu liefern. Die Wartung oder Reinigung von sic vertikalen Booten ist ebenfalls sehr einfach. Das Material kann die meisten herkömmlichen feuchten oder trockenen Reinigungsverfahren ertragen, die bei Halbleiterfabriken wie chemischer Reinigung mit Säuren und Hochtemperaturbacken üblich sind.

In diesem modernen Zeitalter der anspruchsvollen Halbleiterherstellung, bei der Ertragsverbesserung, Kontaminationskontrolle und Stabilität im Prozess alle Bedeutung haben, bieten sic vertikale Boote einen echten technologischen Vorteil. Sie beschäftigen sich gut mit den physikalischen und chemischen Herausforderungen von vertikalen Ofenanwendungen und tragen zur allgemeinen Prozessoptimierung bei, indem sie Waferintegrität, konsistente Ergebnisse und längere Lebensdauer liefern.