Semikorex-SIC-Röhrchen sind Siliziumcarbidofenofenröhrchen für Halbleiter-Hochtemperaturprozesse mit ausgezeichneter thermischer Stabilität und chemischer Korrosionsbeständigkeit. Auswahl der Rohstoffe, Präzisionsherstellung und langfristigen Zuverlässigkeitsgarantien, um Ihren Halbleiter-Herstellungsprozess solide zu unterstützen.*
Semikorex -SIC -Röhrchen (SIC -Ofenröhrchen) werden aufgrund ihrer idealen thermischen Stabilität, mechanischen Festigkeit und extremen Resistenz gegen aggressive Chemikalien über eine Reihe von Anwendungen in der Halbleiterindustrie stark verwendet. Semikorex-SIC-Röhrchen wurden entwickelt, um die härtesten Bedingungen im Zusammenhang mit der Hochtemperaturverarbeitung zu überleben. SIC -Röhrchen sind eindeutig ein bevorzugtes und überlegenes Material für Diffusionsöfen, LPCVD/PECVD -Systeme und in Umgebungen, die für das epitaxiale Wachstum verwendet werden, bei denen Materialkontamination und thermische Differenz wichtige Überlegungen sind.
Semikorex-SIC-Röhrchen werden aus ultrahohen Pulity-SIC-Pulver hergestellt, die fortschrittliche Sintermethoden und Prozesskontrolltechniken verwendet, die die Reinheit des SIC bewahren. Das Ergebnis ist, dass SIC -Röhrchen eine optimale thermische Leitfähigkeit, niedrige thermische Expansionseigenschaften und Gewicht entlang der Länge des Rohrs aufweisen, wodurch die thermische Spannung effektiv minimiert wird, selbst wenn sie einem schnellen thermischen Radfahren ausgesetzt sind. Die Verwendung von SIC-Röhrchen bietet somit eine hohe Respektation bei kontinuierlichen Hochtemperaturprozessen (bis zu 1600 ° C)-wodurch die Gleichmäßigkeit der Halbleiterherstellungsprozesse sichergestellt wird, wodurch die Gesamteffizienz auf konsistenten Maßstäben verbessert wird.
Der Hauptvorteil von SIC ist, dass es chemisch inert ist. SIC ist praktisch nicht-porös (eingehalten mit ASTM-G654 GP-4-Bewertung) und ist unübertroffen, wenn es um Resistenzgase und reaktive Chemikalien in der Entwicklung von Halbleiter verwendet werden, einschließlich HCl, NH₃, SIH₄ usw. Es wird auch festgestellt Stabilität und zunehmende Servicemaßzeit und gleichzeitig minimierende Durchsatzabschwächungen im Zusammenhang mit Röhrchenwechsel und Austausch. Die wichtigsten Vorteile für die Herstellung von Halbleiter sind klar. Die Verwendung von SIC -Röhrchen kann die Gesamtkosten für die Down -Reichweite um Wochen oder sogar Monate senken und gleichzeitig die Zuverlässigkeit in Bezug auf industrielle Prozesse aufrechterhalten.
Semikorex -SIC -Röhrchen sind in vielen Durchmessern, Längen und benutzerdefinierten Spezifikationen ausgestattet, um unterschiedliche Ofendesigns und Verarbeitungsanforderungen zu erfüllen. Die inneren Oberflächen können poliert werden, was die Sauberkeit verbessert, die Partikelerzeugung verringert und ein wichtiges Detail in ultra-verarbeiteten Halbleiterräumen ist. Die Verwendung von semikorexischen SIC -Röhrchen kann dazu beitragen, das Kontaminationsrisiko zu verringern und zu erhöhten Wafererträgen mit engen Toleranzen und einer verbesserten Oberflächenqualität beizutragen.
Semicorex -SIC -Expertise umfasst jahrelange Siliziumcarbidverarbeitung mit Schwerpunkt auf präziser Technik und Qualitätskontrolle, um die strengen und anspruchsvollen Qualitätsstandards der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Unsere Röhren werden mit Inspektionen getestet und validiert, die für die Gewährleistung von Reinheit, Dichte und Leistung in den extremsten thermischen Umgebungen von entscheidender Bedeutung sind. Semicorex bietet außerdem technische Support- und benutzerdefinierte Designoptionen, um die Optimierung des Ofensystems für bestimmte Anwendungen zu unterstützen.
Unabhängig davon, ob Logik -Chips, Leistungsgeräte oder Optoelektronik, semicorex -sic -Röhrchen eine zuverlässige, langlebige Option für die Hochtemperaturverarbeitung aufweisen. Durch die Auswahl von Semicorex gewährleisten Sie nicht nur die Effizienz, sondern auch einen längerfristigen stabilen und effizienten Prozess für die Herstellung von Halbleiter.