SiC-Reflektor

Semicorex SiC-Reflektoren sind bekannt für ihre außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit, ihr hohes Reflexionsvermögen und ihre unübertroffene Haltbarkeit, was sie in der Halbleiterindustrie unverzichtbar macht.

Ein SiC-Reflektor ist eine spezielle optische Komponente, die dazu dient, Licht und Wärmeenergie in Halbleiterfertigungsprozessen zu reflektieren. Siliziumkarbid (SiC) ist eine Verbindung aus Silizium und Kohlenstoff, die für ihre hervorragenden physikalischen und chemischen Eigenschaften bekannt ist. Die aus SiC hergestellten Reflektoren sind für extreme Bedingungen ausgelegt und eignen sich daher ideal für Anwendungen, bei denen hohe Temperaturen, korrosive Umgebungen und hochenergetische Photonen vorhanden sind.

Einer der bedeutendsten Vorteile von SiC-Reflektoren ist ihre hervorragende Wärmeleitfähigkeit. SiC-Material hat eine um ein Vielfaches höhere Wärmeleitfähigkeit als herkömmliche Materialien wie Aluminiumoxid (Al2O3) oder Quarz. Diese Eigenschaft ermöglicht eine effiziente Wärmeableitung, verhindert eine Überhitzung und gewährleistet eine stabile Leistung auch unter Hochtemperaturbedingungen.

SiC-Reflektoren weisen ein hervorragendes Reflexionsvermögen auf, insbesondere im ultravioletten (UV) und infraroten (IR) Spektrum. Dieses hohe Reflexionsvermögen stellt sicher, dass die maximale Lichtmenge auf den Zielbereich umgeleitet wird, was die Effizienz von Halbleiterprozessen wie Fotolithographie, schnelle thermische Verarbeitung (RTP) und chemische Gasphasenabscheidung (CVD) steigert.

Siliziumkarbid ist bekannt für seine Härte und Verschleißfestigkeit. SiC-Reflektoren sind äußerst langlebig, widerstandsfähig gegen mechanische Beanspruchung und beständig gegen chemische Korrosion. Diese Haltbarkeit führt zu einer längeren Lebensdauer, verringert die Häufigkeit von Austausch und Wartung und senkt letztendlich die Gesamtbetriebskosten.