Sic Pipes

Semikorex -SIC -Rohre sind Keramikteile für Halbleiterofensysteme.  Sie verfügen über einzigartige Eigenschaften, die eine hohe thermische Übertragung sowie Hochtemperatur- und chemische Resistenz umfassen, die in halbhebenden Anwendungen erforderlich sind, bei denen extreme Hochtemperatur- und chemische Umweltbedingungen zu erwarten sind und bei denen Eigenschaften wünschenswert - Haltbarkeit, Energieeffizienz und einzigartige stabile Verfahrensbedingungen sind, die in den fortgeschrittenen Semikonduktoren -Umgebungen wirtschaftlich nutzen können.

Semikorex-SIC-Rohre verwenden ein hoher Purity-FeinkornSiliziumkarbidDies wird als Ergebnis fortgeschrittener Sinter- und Rekristallisationsmethoden und -techniken hergestellt, die außergewöhnliche mechanische Hochtemperaturstabilität aufweisen. Die Ermöglichung des Hochleistungs-sic führt zu einer außergewöhnlichen mechanischen Stärke und zur Beibehaltung der thermischen Stabilität bei hohen Betriebstemperaturen. SIC hat eine außergewöhnliche Härte, die den Verschleiß oder eine mögliche Verformung mindert.  Darüber hinaus sind Attribute, die mit SIC-Eigenschaften verbunden sind, eine niedrigem Kraftstoffkoeffizient der thermischen Expansion, da sie die thermische Belastung einschränken, da es Anforderungen an das Radfahren zwischen extrem hoher und niedriger Betriebswärme ergeben wird. In all diesen Überlegungen verfügen sie über einen speziellen Nutzen für ideale Anwendungen in Diffusionsöfen, Oxidationsöfen und LPCVD/PECVD -Systemen, um die maximalen stabilen Prozessbedingungen aufrechtzuerhalten, um Defekte zu beseitigen oder zu begrenzen.

Ein weiterer wichtiger Nutzen von SIC -Rohren ist die hohen thermischen Leitungsprofile unter bestimmten Bedingungen und die anwendbaren Ofendesigns, um hohe Leitquoten zu erzeugen, und vor allem eine gleichmäßige und stetige Temperaturverteilung über den Prozess.  Dieses zuverlässige Verhalten ermöglicht es den Wafern, in angemessenen Zeitintervallen halbgleiche Temperaturverteilungen ausgesetzt zu sein und zusätzlich thermische Gradienten zu begrenzen, um verzerrte und/oder überlegte Wafer mit flachem Boden zu mildern und gleichzeitig mehr Filmablagerungsbedingungen zu verbessern.

Chemische Stabilität und Resistenz sind ein weiterer wichtiger Leistungsfaktor.  Bei Halbleiterprozessen wird Ofenrohr dem Einfluss hochreaktiven Gases wie Sauerstoff, Wasserstoff, Ammoniak und allen Halogenen unterzogen, die konventionelle Materialien schnell abbauen können. Die dichte und nicht-poröse Mikrostruktur schützt sie zusammen mit chemisch inerter Natur von SIC vor Oxidation und Korrosion und liefert gleichzeitig eine operative und mechanische Leistung in der extremen Prozessumgebung.  Die Haltbarkeit von SIC -Öfen hilft ihnen, die Integrität der Form und der dimensionalen Genauigkeit über lange Zeiträume aufrechtzuerhalten, was für die Prozesskontrolle und -stabilität wichtig ist.

SIC -Rohre können in einer Vielzahl von Größen und Wandstärken hergestellt werden, die geometrisch geformt sind, um den Anpassungsofen -Designs und den Prozessanforderungen zu erfüllen.  Die genauen Präzisionsbearbeitungsmerkmale werden auch während des Designs und der Produktion von SIC -Rohren aufrechterhalten, sodass Betriebstoleranzen eng sein können, mit glatten inneren Oberflächen und hervorragender Konzentrik, um ein Gleichgewicht des laminaren Gasflusss und der gleichmäßigen Wärmeprofile aufrechtzuerhalten. Oberflächenpolieren und -beschichtungen können als Behandlungsoptionen bereitgestellt werden, die die Leistung verbessern, indem die Partikelerzeugung reduziert und die Korrosionsbeständigkeit verbessert wird.

SIC -Rohre haben im Vergleich zu alternativen Materialien wie Quarz- oder Alumina -Rohren eindeutige Betriebs- und Kostenvorteile.  Die anfänglichen Kosten für SIC -Komponenten sind möglicherweise etwas höher, aber die Lebensdauer des Produkts, die Reduzierung des Bruchs und die geringeren Wartungsanforderungen führen zu den Gesamtbetreuungskosten, die niedrigere Kosten sind als alternative Materialien und Rohre.

Abschließend SemicorexSicRohre sind die beste Option für Halbleiterofenanwendungen, da sie die beste thermische Leistung, mechanische Festigkeit, chemische Widerstand und Zuverlässigkeit für anspruchsvolle Produktionsumgebungen bieten. Dieses Material verbessert die Prozessstabilität und unterstützt die Kosteneinsparungen und Effizienz (d. H. Niedrigerer Energieverbrauch). SIC -Rohre sind ein grundlegendes Material für die moderne Halbleiterherstellung.