Sic Oxidationsrohr

Semicorex-SIC-Oxidationsrohr besteht aus einer hochpurigen Siliziumkarbidkeramik, die für Oxidation, Diffusion oder Tempelprozesse ausgelegt ist, die typischerweise bei 1600 ° C durchgeführt werden. Als Teil eines sic -Ofens, horizontal oder vertikal, ist dies die kontrollierte Umgebung, in der die Wafer beim Oxidieren erhitzt werden. Die Funktion des Oxidationsrohrs besteht darin, eine saubere, gleichmäßige und stabile Umgebung für die thermische Behandlung von Siliziumcarbid (sic) -Wafern bei der Herstellung von Leistungsgeräten und breiten Bandgap -Halbleitern als Blende des konstanten potenziellen Oxidations -Oxidationsverfahrens als Verbrauchsziele für die erste Verwendung zu bieten. Während Quarz- und Aluminiumoxid -Röhrchen häufig im Laufe der Zeit durch Devitrifizierung, Verzerrung oder chemischer Zusammenbruch zusammengebrochen sind, weist Siliziumcarbid eine außergewöhnliche Haltbarkeit gegen thermische Schockherausforderungen, die Verbesserung der mechanischen Eigenschaften und die Vernutzung der chemischen Inertheit auf. Diese Faktoren ergeben Siliziumcarbid als großartige Option für Oxidationsrohre in hoher Zuverlässigkeit und hoher Durchsatzumgebungen.

Mit fortgeschrittenen Formen der Formen wie kalt-isostatischen Pressen und Druckssintern (oder Rekristallisation) erzeugt Semicorex SIC-Oxidationsrohre mit einer dichten, gasdichten und homogenen Mikrostruktur. Dies sorgt ohne das Risiko einer Porosität und ermöglicht den Oxidationsprozess ohne Kontamination. SIC hat eine sehr hohe thermische Leitfähigkeit, die eine gleichmäßige thermische Verteilung der Waferlastzone ermöglicht und somit thermische Gradienten reduziert, die verzerrte Wafer oder Defekte verursachen können. Die Resistenz des Rohrs gegen Säuren, Basen und reaktive Gase verhindern unerwünschte chemische Wechselwirkungen mit der Waferoberfläche und durch die Ofenumgebung.

Es kriecht nicht, es verformt sich nicht. Das Rohr muss nach mehreren Produktionszyklen nicht ersetzt werden-es handelt sich um langfristige thermische Radsportumgebungen, die sonst weniger Materialien zerstören würden. Daher bedeuten keine Hochfrequenzunterbrechungen niedrige Betriebskosten, und dies hält den Prozessfluss ohne Störungen. Dies reduziert auch Kontaminationsrisiken, die die Ertragsleistung in Halbleitergeräten der nächsten Generation leicht senken können, bei denen Verunreinigungen eine entscheidende Rolle spielen. Semicorex erzeugt sowohl Standard- als auch vollständig maßgeschneiderte Rohrabmessungen für jede verwendete Ofenplattform und Rezept. Innen- und Außendurchmesser, Länge, Wandstärke und Oberflächenfinish sind alle Parameter, die möglicherweise eine Einstellung erfordern, um unterschiedliche spezifische thermische und mechanische Bedürfnisse zu befriedigen. Von F & E-Öfen im Labormaßstab bis hin zu großen Fertigungsleitungen, in denen das Röhrchen Bearbeitung, Reinigung und Inspektion benötigt, um die Leistung zu gewährleisten.

Die Qualitätskontrolle beginnt mit dimensionalen Überprüfungen, Materialdichtetests und Validierung der thermischen Zykluszuverlässigkeit für jedes einzelne SIC -Oxidationsrohr. Ein starkes Material -Rückverfolgbarkeitssystem protokolliert das Produkt von seiner Rohpulverstufe bis zur Endinspektion. Diese Art von Qualität gibt den Kunden eine stetige Hand in der langfristigen Stabilität und Reproduzierbarkeit unserer SIC-Oxidationsrohre.

Wählen Sie Semicorex und holen Sie sich einen Partner in einem Lieferanten, der fortschrittliche Keramik -Engineering mit breiter Prozesskontrolle und reaktionsschnellem technischem Support kombiniert, indem Sie von Anfang an zusammenarbeiten. Wir lernen Ihre spezifischen Ofenumgebung, Prozessanforderungen und Integrationsprobleme kennen, damit wir Ihnen angepasste Lösungen anbieten können, die Ihre Prozessergebnisse sowie die Werkzeugüberzeiten verbessern.

Semicorex SIC -Oxidationsrohr liefert die bestmögliche thermische Leistung mit chemischer Stabilität und mechanischer Stärke. Es wird zum Herzen eines jeden Hochtemperatur-SIC-Verarbeitungssystems, indem es eine einheitliche thermische Umgebung während der Oxidation und das Glühen fortgeschrittener Halbleitermaterialien bereitstellt. Für Hersteller, die die Ofenkomponenten verlangen, werden Semicorex zuverlässig, sauber und langlebig sein, ist Semicorex eine Produktauswahl, die von Wissen und Erfahrung unterstützt wird, sowie ein Standard, nichts weniger als das Beste zu liefern.