SIC-Horizontalofenrohre

Horizontale SIC-Ofenrohresind die unverzichtbaren Träger des Ofensystems und befinden sich üblicherweise im Kernheizbereich von Halbleiterfertigungs- oder Photovoltaik-Produktionsanlagen. Sie bilden zusammen mit den Heizelementen, den Temperaturkontrollsystemen, den Gaskontrollsystemen und den Waferbooten das komplette Ofensystem.

Im tatsächlichen Betrieb werden SIC-Horizontalofenrohre durch die Heizelemente erhitzt, die mithilfe der hervorragenden Wärmeleitfähigkeit von Siliziumkarbidmaterialien die Wärme gleichmäßig in die Ofenrohre übertragen. Währenddessen werden bestimmte Prozessgase (wie Sauerstoff, Stickstoff, Dotierungsgase usw.) in das Ofenrohr eingeleitet. Unter der Wirkung dieser Hochtemperatur-Gasatmosphäre kommt es zu chemischen Reaktionen oder physikalischen Veränderungen der Halbleitermaterialien im Ofen, die letztendlich zu Materialmodifikationen, Dotierungen oder Strukturoptimierungen führen.

Die horizontalen SIC-Ofenrohre von Semicorex bieten eine bemerkenswerte mechanische Festigkeit und Härte, die bei Anwendungen mit der Handhabung und Verarbeitung großvolumiger Wafer eine wichtige Rolle spielt. SIC-Horizontalofenrohre sind in der Lage, Wafer bei Wärmebehandlungsprozessen wie Oxidation, Diffusion und Glühen stabil zu stützen und sicherzustellen, dass sich die Wafer während der Hochtemperaturverarbeitung in der richtigen Position befinden und durch thermische Belastung verursachte Verschiebungen oder Verformungen vermieden werden.

Die horizontalen SIC-Ofenrohre von Semicorex werden aus hochreinem Material hergestelltSiliziumkarbidkeramikmit extrem niedrigem Verunreinigungsgehalt, gefolgt von der Abscheidung einer CVDSiliziumkarbidbeschichtungauf ihrer Oberfläche. Durch diese Herstellungsmethode wird den horizontalen SIC-Ofenrohren eine Schutzschicht hinzugefügt, die es ihnen ermöglicht, in den anspruchsvollen Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen über einen längeren Zeitraum stabil zu funktionieren. Diese Korrosionsbeständigkeitsleistung der horizontalen SIC-Ofenrohre verbessert die Effizienz der Halbleiterwaferherstellung, indem sie das Risiko korrosionsbedingter Komponentenschäden effektiv senkt und die Notwendigkeit eines häufigen Austauschs und einer häufigen Wartung verringert.

Mit so vielen überlegenen Eigenschaften werden die SIC-Horizontalofenrohre von Semicorex häufig in vielen Hochtemperatur-Verarbeitungsprozessen in der Photovoltaik- und Halbleiterindustrie eingesetzt, wie z. B. Oxidationsprozessen, Diffusionsprozessen, Glühprozessen und der chemischen Gasphasenabscheidung bei niedrigem Druck.