SiC-Fokusringe

Die fortschrittlichen, hochreinen SiC-Fokusringe von Semicorex sind so konstruiert, dass sie den extremen Umgebungen in Plasmaätzkammern (oder Trockenätzkammern) standhalten. Wir konzentrieren uns auf Halbleiterindustrien wie Siliziumkarbidschichten und Epitaxiehalbleiter. Unsere Produkte haben einen guten Preisvorteil und decken viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Semicorex liefert SiC-Fokusringe, die wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung sind. SiC-Fokusringe oder Kantenringe wurden entwickelt, um die Gleichmäßigkeit des Ätzens um die Kante oder den Umfang des Wafers herum zu verbessern. Minimieren Sie Kontamination und außerplanmäßige Wartung mit hochreinen Komponenten, die für die harten Bedingungen der Plasmaätzverarbeitung entwickelt wurden. Unsere SiC-Fokusringe mit SiC-Beschichtung sind eine dichte, verschleißfeste Beschichtung aus Siliziumkarbid (SiC). Es hat hohe Korrosions- und Hitzebeständigkeitseigenschaften sowie eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit. SiC tragen wir im CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition) in dünnen Schichten auf den Graphit auf.

Parameter von SiC-Fokusringen

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickers-Härte	2500
Körnung	Î¼m	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J·kg –1 ·K –1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegefestigkeit	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4pt Biegung, 1300â)	430
Wärmeausdehnung (CTE)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300

Merkmale von SiC-Fokusringen

- CVD-Siliziumkarbidbeschichtungen zur Verbesserung der Lebensdauer.

- Wärmeisolierung aus hochleistungsfähigem, gereinigtem Hartkohlenstoff.

- Kohlenstoff/Kohlenstoff-Verbundheizung und -platte. - Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hochreiner Graphit und SiC-Beschichtung für Pinhole-Resistenz und längere Lebensdauer