SiC-Fokusringe

Die fortschrittlichen, hochreinen SiC-Fokusringe von Semicorex sind so konstruiert, dass sie den extremen Umgebungen in Plasmaätzkammern (oder Trockenätzkammern) standhalten. Wir konzentrieren uns auf Halbleiterindustrien wie Siliziumkarbidschichten und Epitaxiehalbleiter. Unsere Produkte haben einen guten Preisvorteil und decken viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Semicorex liefert SiC-Fokusringe, die äußerst stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung sind. SiC-Fokusringe oder Kantenringe dienen zur Verbesserung der Gleichmäßigkeit der Ätzung am Rand oder Umfang des Wafers. Minimieren Sie Verunreinigungen und außerplanmäßige Wartungsarbeiten mit hochreinen Komponenten, die für die Anforderungen der Plasmaätzverarbeitung entwickelt wurden. Unsere SiC-Fokusringe mit SiC-Beschichtung sind eine dichte, verschleißfeste Siliziumkarbid (SiC)-Beschichtung. Es verfügt über hohe Korrosions- und Hitzebeständigkeitseigenschaften sowie eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit. Wir tragen SiC im chemischen Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) in dünnen Schichten auf den Graphit auf.

Parameter von SiC-Fokusringen

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickershärte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300

Merkmale von SiC-Fokusringen

- CVD-Siliziumkarbid-Beschichtungen zur Verbesserung der Lebensdauer.

- Wärmedämmung aus hochleistungsgereinigtem Hartkohlenstoff.

- Heizelement und Platte aus Kohlenstoff/Kohlenstoff-Verbundwerkstoff. - Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht verfügen über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hochreine Graphit- und SiC-Beschichtung für Pinhole-Resistenz und längere Lebensdauer