SiC-Diffusionsofenrohr

Hohe Biegefestigkeit: Das SiC-Diffusionsofenrohr von Semicorex verfügt über eine Biegefestigkeit von über 200 MPa und gewährleistet so eine außergewöhnliche mechanische Leistung und strukturelle Integrität unter hohen Belastungsbedingungen, die für Halbleiterherstellungsprozesse typisch sind.

Hervorragende Oxidationsbeständigkeit: Diese SiC-Diffusionsofenrohre weisen eine hervorragende Oxidationsbeständigkeit auf, die beste aller Nichtoxidkeramiken. Diese Eigenschaft gewährleistet langfristige Stabilität und Leistung in Umgebungen mit hohen Temperaturen, verringert das Risiko einer Verschlechterung und verlängert die Lebensdauer der Röhren.

Hervorragende Korrosionsbeständigkeit: Die chemische Inertheit der SiC-Diffusionsofenrohre sorgt für eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit und macht diese Rohre ideal für den Einsatz in rauen chemischen Umgebungen, die häufig bei der Halbleiterverarbeitung vorkommen.

Hohe Verschleißfestigkeit: Das SiC-Diffusionsofenrohr ist äußerst verschleißfest, was für die Aufrechterhaltung der Dimensionsstabilität und die Reduzierung des Wartungsaufwands bei längerem Einsatz unter abrasiven Bedingungen von entscheidender Bedeutung ist.

Niedriger Reibungskoeffizient: Der niedrige Reibungskoeffizient des SiC-Diffusionsofenrohrs reduziert den Verschleiß sowohl an den Rohren als auch an den Wafern, sorgt für einen reibungslosen Betrieb und minimiert das Kontaminationsrisiko während der Halbleiterverarbeitung.

Überlegene mechanische Eigenschaften bei hohen Temperaturen: Das SiC-Diffusionsofenrohr weist die besten mechanischen Eigenschaften bei hohen Temperaturen unter den bekannten Keramikmaterialien auf, einschließlich hervorragender Festigkeit und Kriechfestigkeit. Dadurch eignet es sich besonders für Anwendungen, die eine Langzeitstabilität bei erhöhten Temperaturen erfordern.

Mit CVD-Beschichtung: Die SiC-Beschichtung durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) von Semicorex erreicht einen Reinheitsgrad von mehr als 99,9995 %, mit einem Verunreinigungsgehalt unter 5 ppm und schädlichen Metallverunreinigungen unter 1 ppm. Der CVD-Beschichtungsprozess stellt sicher, dass die Röhren die strengen Vakuumdichtheitsanforderungen von 2–3 Torr erfüllen, die für hochpräzise Halbleiterfertigungsumgebungen unerlässlich sind.

Anwendung in Diffusionsöfen: Diese SiC-Diffusionsofenrohre wurden speziell für den Einsatz in Diffusionsöfen entwickelt, wo sie eine entscheidende Rolle bei Hochtemperaturprozessen wie Dotierung und Oxidation spielen. Ihre fortschrittlichen Materialeigenschaften stellen sicher, dass sie den anspruchsvollen Bedingungen dieser Prozesse standhalten und steigern so die Effizienz und Zuverlässigkeit der Halbleiterproduktion.