SiC-beschichtetes ICP-Bauteil

Die SiC-beschichtete ICP-Komponente von Semicorex ist die erste Wahl für Wafer-Handling-Prozesse, die Hochtemperatur- und Chemikalienbeständigkeit erfordern. Unsere Träger bieten gleichmäßige Wärmeprofile, laminare Gasströmungsmuster und verhindern dank unseres feinen SiC-Kristalls die Diffusion von Verunreinigungen oder Verunreinigungen. Mit einer feinen SiC-Kristallbeschichtung bieten unsere Träger eine hervorragende Hitzebeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit.
Bei Semicorex konzentrieren wir uns darauf, unseren Kunden qualitativ hochwertige und kostengünstige Produkte anzubieten. Unser SiC-beschichtetes ICP-Bauteil hat einen Preisvorteil und wird in viele europäische und amerikanische Märkte exportiert. Unser Ziel ist es, Ihr langfristiger Partner zu sein, der gleichbleibende Qualitätsprodukte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.
Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unsere SiC-beschichtete ICP-Komponente zu erfahren.

Parameter der SiC-beschichteten ICP-Komponente

Merkmale der SiC-beschichteten ICP-Komponente

- Vermeiden Sie ein Ablösen und stellen Sie sicher, dass alle Oberflächen beschichtet sind

Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit: Stabil bei hohen Temperaturen bis zu 1600 °C

Hohe Reinheit: Hergestellt durch CVD-CVD unter Hochtemperatur-Chlorierungsbedingungen.

Korrosionsbeständigkeit: hohe Härte, dichte Oberfläche und feine Partikel.

Korrosionsbeständigkeit: Säure, Alkali, Salz und organische Reagenzien.

- Erzielen Sie das beste laminare Gasströmungsmuster

- Gewährleistung der Gleichmäßigkeit des thermischen Profils

- Verhindern Sie jegliche Kontamination oder Diffusion von Verunreinigungen