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SiC-beschichteter Trommelsuszeptor für LPE

SiC-beschichteter Trommelsuszeptor für LPE

Der Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor für LPE ist dank seiner außergewöhnlich flachen Oberfläche und der hochwertigen SiC-Beschichtung die perfekte Wahl für Anwendungen zur Einkristallzüchtung. Sein hoher Schmelzpunkt, seine Oxidationsbeständigkeit und seine Korrosionsbeständigkeit machen es zur idealen Wahl für den Einsatz in Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen.

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Produktbeschreibung

Suchen Sie nach einem Graphit-Suszeptor mit außergewöhnlicher Wärmeverteilung und Wärmeleitfähigkeit? Suchen Sie nicht weiter als den Semicorex SiC-beschichteten Barrel-Suszeptor für LPE, der mit hochreinem SiC für überlegene Leistung in LPE-Prozessen und anderen Halbleiterfertigungsanwendungen beschichtet ist.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns darauf, unseren Kunden qualitativ hochwertige und kostengünstige Produkte anzubieten. Unser SiC Coated Barrel Susceptor für LPE hat einen Preisvorteil und wird in viele europäische und amerikanische Märkte exportiert. Unser Ziel ist es, Ihr langfristiger Partner zu sein, der gleichbleibende Qualitätsprodukte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.


Parameter des SiC-beschichteten Barrel-Suszeptors für LPE

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des SiC-beschichteten Barrel-Suszeptors für LPE

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine gute Dichte und können eine gute schützende Rolle in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und korrosiven Einflüssen spielen.

- Mit Siliziumkarbid beschichteter Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, hat eine sehr hohe Oberflächenebenheit.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delamination zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit.




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