SiC-beschichteter Zylindersuszeptor

Mit seinem hohen Schmelzpunkt, seiner Oxidationsbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit ist der SiC-beschichtete Zylindersuszeptor von Semicorex die perfekte Wahl für den Einsatz in Einkristallwachstumsanwendungen. Seine Siliziumkarbidbeschichtung sorgt für außergewöhnliche Ebenheit und Wärmeverteilungseigenschaften und sorgt so für zuverlässige und konstante Leistung selbst in den anspruchsvollsten Hochtemperaturumgebungen.

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Produktbeschreibung

Der Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor ist ein hochwertiges Graphitprodukt, das mit hochreinem SiC beschichtet ist und speziell für LPE-Prozesse und andere Halbleiterfertigungsanwendungen entwickelt wurde. Seine außergewöhnliche Dichte und Wärmeleitfähigkeit sorgen für eine hervorragende Wärmeverteilung und Schutz in Umgebungen mit hohen Temperaturen und Korrosion.
Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger SiC-beschichteter Zylindersuszeptoren. Wir legen großen Wert auf die Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.

Parameter des SiC-beschichteten Fasssuszeptors

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickers-Härte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300

Merkmale des SiC-beschichteten Zylindersuszeptors

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht weisen eine gute Dichte auf und können in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und Korrosion eine gute Schutzfunktion spielen.

- Der mit Siliziumkarbid beschichtete Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, weist eine sehr hohe Oberflächenebenheit auf.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delaminierung zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht verfügen über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen, Korrosionsbeständigkeit.