SiC Chuck

Semicorex SiC Chuck ist für seine außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit, hohe Festigkeit und hervorragende Beständigkeit gegen Verschleiß und chemische Korrosion bekannt und wurde für eine hervorragende Leistung in anspruchsvollen Umgebungen entwickelt.

SiC-Chucks leiten Wärme effektiv ab und sorgen so für ein stabiles Wärmemanagement bei Hochtemperaturprozessen, was für die Aufrechterhaltung der Integrität von Halbleiterwafern von entscheidender Bedeutung ist. Die inhärente Robustheit von Siliziumkarbid sorgt für eine außergewöhnliche Haltbarkeit und verringert das Risiko eines mechanischen Versagens oder einer Verformung unter hoher Belastung. SiC-Spannfutter sind gegen die meisten Chemikalien und Säuren beständig und eignen sich für Umgebungen, in denen sie möglicherweise aggressiven Substanzen ausgesetzt sind, wodurch ihre Lebensdauer verlängert wird. Mit einem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten behalten SiC-Chucks ihre Form und strukturelle Integrität bei wechselnden Temperaturen und gewährleisten so eine hochpräzise Handhabung empfindlicher Wafer.

Wird häufig in Prozessen wie der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) und der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) verwendet, bei denen Temperaturkontrolle und chemische Beständigkeit von entscheidender Bedeutung sind.

Semicorex SiC-Spannfutter sind in fortschrittlichen Fertigungsbereichen unverzichtbar, wo ihre überlegenen Eigenschaften zu einer verbesserten Produktqualität, einer erhöhten Betriebseffizienz und reduzierten Wartungskosten beitragen.