Cantilever-Paddel aus SIC-Keramik

Semicorex SiC-Keramik-Auslegerpaddel sind Hochleistungskomponenten, die für Wärmebehandlungsöfen entwickelt wurden, die in Bereichen wie der Halbleiter- und Photovoltaikzellenherstellung eingesetzt werden. Semicorex wählt hochreine Siliziumkarbidmaterialien sorgfältig aus und setzt branchenführende Präzisionsfertigungsprozesse ein. Wir freuen uns auf Ihren Kauf mit unseren hochwertigen Produkten und Dienstleistungen.

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Produktbeschreibung

SemicorexCantilever-Paddel aus SIC-Keramiksind entscheidende Komponenten für den Transport von Waferträgern in und aus Öfen. Sie werden häufig in thermischen Verarbeitungsanlagen wie Oxidations-, Diffusions- und LPCVD-Öfen (Low-Pressure Chemical Vapour Deposition) in der Photovoltaik- und Halbleiterfertigung eingesetzt.

sind entscheidende Komponenten für den Transport von Waferträgern in und aus Öfen. Sie werden häufig in thermischen Verarbeitungsanlagen wie Oxidations-, Diffusions- und LPCVD-Öfen (Low-Pressure Chemical Vapour Deposition) in der Photovoltaik- und Halbleiterfertigung eingesetzt.

SemicorexSIC-KeramikAuslegerpaddel verdanken ihre hohe Belastbarkeit der inhärenten mechanischen Festigkeit und Steifigkeit des hochwertigen reaktionsgebundenen Siliziumkarbid-Materials (RBSiC). Diese Paddel sind in der Lage, der hohen Belastung von Siliziumwafern standzuhalten, optimieren den Durchsatz für einzelne Diffusionszyklen und tragen zur Verbesserung der Produktionseffizienz bei.

Die überlegenen Materialeigenschaften von reaktionsgebundenem Siliziumkarbid ermöglichen den SIC-Keramik-Auslegerpaddeln eine hervorragende Stabilität in Hochtemperatur-Betriebsumgebungen und stellen die Konzentrizität des Siliziumwafers und des Ofenrohrs sicher, wodurch Prozesse wie Diffusion und Passivierung gleichmäßiger werden. Diese Stabilität vermeidet effektiv Verformungen oder Schäden am Siliziumkarbid-Auslegerpaddel, die durch hohe Temperaturen und schwere Lasten verursacht werden, und verringert so das Risiko einer daraus resultierenden Beschädigung des Siliziumwafers oder eines Geräteausfalls.

Semicorex SiC-Keramik-Auslegerpaddel nutzen das einteilige 3D-Druckverfahren, das entscheidend zur Aufrechterhaltung der Maßgenauigkeit und Formkonsistenz der Komponenten beiträgt. Dieses Design der freitragenden Paddel aus SiC-Keramik gewährleistet außerdem eine nahtlose Kompatibilität mit Diffusionsofensystemen. Ihre robuste Auslegerstruktur ermöglicht reibungslose, vibrationsfreie Transfers und minimiert das Risiko von Waferbrüchen oder -abweichungen beim Be- und Entladen.

Qualität hat für Semicorex oberste Priorität. Alle fertigen Cantilever-Paddel aus Siliziumkarbid müssen mehreren Testverfahren unterzogen werden, darunter Prüfungen der Maßhaltigkeit und Bewertungen der Materialeigenschaften, um die überlegene Qualität zu gewährleisten. Wenn Sie Kaufwünsche haben, zögern Sie bitte nicht, uns zu kontaktieren.