Cantilever-Paddel aus SiC-Keramik

Das freitragende Paddel aus Siliziumkarbid-SiC-Keramik mit großer Wafer-Ladekraft eignet sich für ein automatisches Lade- und Handhabungssystem für Roboter, da es eine stabile Leistung, keine Verformung bei hohen Temperaturen und eine große Wafer-Ladekraft aufweist. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Da der Abschnitt des Auslegerpaddels stabil und ohne Verformung ist, ist es möglich, unter Verwendung vorhandener Ofenrohre größere Wafer herzustellen. Auslegerpaddel aus SiC-Keramik können aufgrund ihres ähnlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten mit LPCVD-Beschichtung auf LPCVD angewendet werden, was den Wartungs- und Reinigungszyklus erheblich verlängert und Schadstoffe erheblich reduziert.

Wir können das Produkt gemäß Ihren Zeichnungen und der Arbeitsumgebung herstellen.

Merkmale:

Große Ladung

Geringe Wärmeleitfähigkeit

Hohe Temperaturbeständigkeit