Sic Cantilever Paddles

Semicorex Sic Cantilever Paddles sind Hochleistungskomponenten, die genau für die Handhabung und den Wafertransport der thermischen Verarbeitungsgeräte für Wafer (LPCVD, PECVD, Oxidation und Diffusionsöfen) konzipiert sind. Diese Cantilever-Paddel bieten eine Plattform für Wafer und eine notwendige Form der Unterstützung, die einen stabilen und zuverlässigen Transport von spröden Wafern durch harte Hochtemperaturprozesse (häufig mehr als 1200 ° C) gewährleistet. Die Cantilever-Paddel werden aus Siliziumcarbid (SIC) mit hohem Reinheit hergestellt, das mechanische Haltbarkeit, thermische Stabilität und korrosive Eigenschaften für die Halbleiterfabrikumgebung bietet.

Siliziumcarbid ist ein Superpremium-Keramikmaterial mit ausgezeichneter thermischer Leitfähigkeit, geringer thermischer Ausdehnung und der Fähigkeit, in chemisch feindlichen Umgebungen zuverlässig abzuschneiden. Siliziumkarbid in Ausleger -Paddeln kann dazu beitragen

 und Bewegung, die Wafers flach und in ihrer nominalen Verarbeitungsposition hält. Die thermische Stabilität des Wafers im Kontext von Cantilever -Paddeln ist wichtig, um Probleme der Partikelverunreinigung und der mechanischen Bewegung zu minimieren, insbesondere bei der Erzeugung fortschrittlicher Knotengeräte. Diese Probleme können zu Ertragsverlust oder kostspieligen Nacharbeiten und Ersatz von Wafern führen.

Die monolithische Form der Sic -Ausleger -Paddeln verbessert die mechanische Robustheit und die thermische Gleichmäßigkeit und eliminiert gleichzeitig Gelenke und Schwachpunkte, die typischerweise in Verbundwerkstoffen vorhanden sind. Darüber hinaus wird die Oberflächenbeschaffung der Paddel spezifisch kontrolliert und im Allgemeinen auf eine nahezu spiegelgeführte Qualität poliert, um die Partikelerzeugung zu minimieren, und ist sehr konform.

In Diffusions- und Oxidationsprozessen, die Sauerstoff, Dampf und andere reaktive Gase beinhalten; Herkömmliche Materialien können im Laufe der Zeit verschmelzen oder verformen. Die inhärente chemische Inerteigenschaft von SIC sorgt dafür, dass die Paddel aufgrund der Verwendung instabiler Materialien nicht übertrieben und eine Kontamination in den Prozess einführen, was zu einem stabileren Prozess und zuverlässigeren Ergebnissen beiträgt.  Die strukturelle Integrität von Sic -Cantilever -Paddeln bleibt trotz schneller Heizung und Kühlung stabil. Daher bieten sie eine lange Betriebsdauer der langen Betriebsdauer mit stark reduzierter Wartung oder Ausfallzeiten für die Ersatzteile.

Darüber hinaus ermöglichen die reduzierte Masse und das geringfügige Gewicht von sic -Paddeln eine schnellere thermische Reaktion; Dadurch ermöglichen alle wichtigen Metriken in der wettbewerbsfähigen Landschaft der Semiconductor-Herstellung eine schnellere thermische Wärme- und Abkühlzeiten, die zu einer erhöhten Produktivität und Energieeffizienz beitragen.

Sic Cantilever Paddles können in einer Vielzahl von Konfigurationen und Größen geliefert werden, die so konzipiert und hergestellt werden, um verschiedene Ofenkonstruktionen und Wafergrößen von 100 mm bis 300 mm und größer zu reichen. OEMs und Geräteintegratoren schätzen die Konsistenz und Zuverlässigkeit der SIC-Paddel im Laufe der Zeit für Bereitstellungen in Front-End- und Back-End-Prozessen.

Semicorex bietet Premium -Sic -Cantilever -Paddeln mit strenger Kontrolle über Materialreinheit, Mikrostruktur und dimensionale Toleranzen. Unsere fortschrittlichen Prozessfunktionen in Verbindung mit unserem Wissen über die thermische Dynamik der Halbleiter können wir mit diesen Attributen Paddel produzieren, die die Branchenstandards für Stabilität, Sauberkeit und Haltbarkeit entsprechen oder übertreffen. Wenn es richtig und zuverlässig sein muss, ist Semicorex der Ort für Qualitäts -SIC -Komponenten.