SiC-Boot

Semicorex SiC-Boote werden sorgfältig aus hochreiner SiC-Keramik gefertigt, einem Material, das für seine unübertroffene thermische Stabilität, außergewöhnliche mechanische Festigkeit und unerschütterliche chemische Inertheit bekannt ist. Diese Eigenschaften machen es zur perfekten Wahl für die strengen Bedingungen der Halbleiterfertigung.

SiC-Boote zeichnen sich aufgrund der Härte des Materials und der außergewöhnlichen Verschleißfestigkeit durch eine beispiellose mechanische Festigkeit und Haltbarkeit aus. Dies ermöglicht es ihnen, den anspruchsvollen Anforderungen von Halbleiterproduktionsumgebungen mit hohem Durchsatz standzuhalten, ohne einer allmählichen Abnutzung zu unterliegen. Im Gegensatz zu anderen Materialien behält SiC seine strukturelle Integrität im Laufe der Zeit bei, was die Notwendigkeit eines häufigen Austauschs erheblich reduziert und Ausfallzeiten im Herstellungsbetrieb minimiert – was letztendlich zu erheblichen Kosteneinsparungen für Halbleiterhersteller führt.

Die chemische Inertheit von SiC festigt seine Eignung für Halbleiterprozesse weiter, indem sie es äußerst widerstandsfähig gegen chemische Angriffe durch reaktive Gase und häufig verwendete Materialien wie Chlor und Fluor macht. Diese robuste Beständigkeit stellt sicher, dass SiC-Schiffchen die Wafer während der Verarbeitung nicht verunreinigen, wodurch die Reinheit und Qualität der hergestellten Halbleiterbauelemente erhalten bleibt. Für Prozesse, die eine noch höhere chemische Beständigkeit erfordern, können SiC-Boote mit einer zusätzlichen SiC-Schicht beschichtet werden, die eine zusätzliche Barriere gegen chemische Angriffe bildet und die Oberflächenbeschaffenheit des Bootes verbessert, um das Risiko einer Partikelverunreinigung zu verringern.

Die hohe Reinheit der in diesen Booten verwendeten SiC-Keramik ist von entscheidender Bedeutung, da für die Halbleiterherstellung Materialien mit minimalen Verunreinigungen erforderlich sind. Selbst Spuren von Verunreinigungen können die elektrischen Eigenschaften von Wafern beeinträchtigen und zu Defekten in den Endgeräten führen. SiC-Boote werden aus hochreiner SiC-Keramik hergestellt, um sicherzustellen, dass sie selbst bei den für die Halbleiterfertigung typischen erhöhten Temperaturen und reaktiven Bedingungen keine Verunreinigungen in die Prozessumgebung einbringen. Diese Reinheit festigt die Zuverlässigkeit von SiC-Booten für kritische Prozessschritte.

Die Kompatibilität von SiC-Booten mit verschiedenen Halbleitergeräten ist von größter Bedeutung. Die Vielseitigkeit von SiC ermöglicht eine präzise Bearbeitung, um es an die spezifischen Abmessungen und Konfigurationen verschiedener Arten von Halbleiteröfen und -reaktoren anzupassen, sodass sie für ein breites Anwendungsspektrum geeignet sind, von kleinen Forschungs- und Entwicklungsbetrieben bis hin zu großen Produktionslinien. Darüber hinaus tragen die außergewöhnlichen Wärmeleitfähigkeits- und Wärmeableitungseigenschaften des Materials zu einer effizienteren Temperaturkontrolle während der Verarbeitung bei und steigern so die Leistung und Ausbeute von Halbleiterbauelementen weiter.