SIC -Bootshalter

Semicorex SIC-Bootshalter sind Präzisionsunterstützungsgeräte, die für Hochtemperaturprozesse bei der Herstellung von Halbleitern Waferboote abhalten. Diese Inhaber aus Siliziumcarbid (SIC) mit hohem Purity-Carbid (SIC) weisen hervorragende thermische Stabilität, chemische Resistenz und mechanische Steifigkeit auf, wesentliche Merkmale, wenn sie in Prozessen wie Diffusion, Oxidation und epitaxielles Wachstum verwendet werden.

Bei der anspruchsvollen Halbleiterherstellungsumgebungen ist der Schutz der Waferintegrität und die Minimierung der Kontamination von entscheidender Bedeutung. SIC -Bootsinhaber bieten eine solide, inerte Plattform, die extreme Ofenumgebungen tolerieren und gleichzeitig die Integrität ohne Verformung und ohne Freigabe von Verunreinigungen aufrechterhalten kann. Ihre chemische Trägheit ermöglicht ihre Verwendung mit reaktiven Prozessgas, während ihre thermische Sendung die gleichmäßige Erwärmung der Oberfläche der Wafer für eine konsistente Verarbeitung fördert.

Jeder SIC -Bootshalter wird mit einer hohen Toleranz für die Genauigkeit der Dimension hergestellt, wodurch er einfach zu erfassen ist und sich an die Konfigurationen des Waferboottyps und der automatisierten Ladung anpasst. Ihre starre Struktur schafft nicht nur starke, stabile und angemessene Unterstützung für die Waferboote, sondern reduziert auch die Chance, dass Mikrovibrationen oder Positionsschichten auf den Wafern haben können. Darüber hinaus hat Siliziumkarbid einen hervorragenden Verschleißfestigkeit und kann wiederholtes Wärmeradfahren verarbeiten, um eine lange Lebensdauer zu ermöglichen, die zu geringen Ausfallzeiten und dem Austausch von Fläschelteilen führt.

Die einzigartigen Attribute von Siliziumkarbid können zusätzliche Vorteile hinsichtlich der Sauberkeit der Prozesse bieten. Im Gegensatz zu Metallen oder niedrigeren Keramikmaterialien schlägt SIC unter extremen Temperaturen oder im Plasma weder ab, Outgas noch chemisch. Dies macht SIC -Bootshalter zu einem großartigen Werkzeug für Hersteller, die versuchen, die Reinraumverschmutzung für fortschrittliche Halbleiterknoten zu begrenzen, die hohe Ertrag und Reinheit erfordern.

Semicorex -SIC -Bootsinhaber werden unter Verwendung einzigartiger Form- und Sinterprozesse hergestellt, die einheitliche Mikrostruktur und mechanische Leistung zwischen Chargen und mehreren Bootshaltern gewährleisten. Beispielsweise kann die Form oder die Steckplatzkonfiguration in Halter sowie die Art der Montage angepasst werden.

Unabhängig davon, ob in vertikalen Öfen oder horizontalen Reaktoren verwendet wird, erfüllen die Anpassung von Semikorex-SIC-Bootsinhabern die Toleranzen für die Halbleiter-Manufactruring der nächsten Generation. Wenn Sie sich für Semicorex -Produkte entscheiden, wissen Sie, dass Sie mit einem Lieferanten zusammengearbeitet haben, der sich mit materieller Exzellenz auskennt, und strebt nach kontinuierlich innovativen Keramikkomponenten in Bezug auf Zuverlässigkeit und Lieferung.