SiC-Boot für Wafer-Handling

Das aus Siliziumkarbid von außergewöhnlicher Reinheit gefertigte Semicorex SiC-Boot für die Wafer-Handhabung verfügt über eine Konstruktion mit Präzisionsschlitzen zur Sicherung der Wafer, die jede Bewegung während der Betriebsabläufe eindämmen. Die Wahl von Siliziumkarbid als Material gewährleistet nicht nur Härte und Widerstandsfähigkeit, sondern auch die Fähigkeit, erhöhten Temperaturen und der Einwirkung von Chemikalien standzuhalten. Dies macht das SiC-Boot für das Wafer-Handling zu einer zentralen Komponente in einer Vielzahl von Halbleiterproduktionsschritten, wie z. B. der Kristallzüchtung, Diffusion, Ionenimplantation und Ätzprozessen.

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Produktbeschreibung

Das Semicorex SiC-Boot für die Wafer-Handhabung zeichnet sich durch ein beispielloses Verhältnis von Festigkeit zu Gewicht und hervorragende Wärmeleiteigenschaften aus und wird durch eine CVD-SiC-Beschichtung einem weiteren Verbesserungsprozess unterzogen. Diese zusätzliche Beschichtung erhöht seine Widerstandsfähigkeit gegenüber den Strapazen der Verarbeitungsumgebungen und schützt es sowohl vor chemischer Zersetzung als auch vor thermischen Schwankungen, wodurch seine Betriebslebensdauer erheblich verlängert wird und eine gleichbleibende Leistung unter strengen Betriebsanforderungen gewährleistet wird.

Bei thermischen Vorgängen wie Glühen oder Diffusion trägt das SiC-Boot für die Wafer-Handhabung maßgeblich dazu bei, eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche zu erreichen. Seine hervorragende Wärmeleitfähigkeit erleichtert eine effektive Wärmeverteilung, verringert thermische Unterschiede und fördert die Gleichmäßigkeit der Prozessergebnisse.

Das Semicorex SiC-Boot für die Wafer-Handhabung wird für seine Zuverlässigkeit und herausragende Leistung geschätzt und erfüllt die strengen Anforderungen der modernen Halbleiterproduktion. Mit seiner Anpassungsfähigkeit sowohl für Batch- als auch für einzelne Wafer-Prozesse ist das SiC-Boot für die Wafer-Handhabung ein unverzichtbares Werkzeug für Halbleiterproduktionsanlagen, die sich der Erzielung überlegener Produktstandards und maximierter Erträge verschrieben haben. Die Rolle des SiC-Boots für die Wafer-Handhabung ist entscheidend für die Aufrechterhaltung beider die Integrität und Zuverlässigkeit der Wafer und findet umfangreiche Anwendung in Halbleiterproduktionsanlagen, Industriegeräten und als Ersatzteile.