Silikon-Ätzringe

Silizium-Ätzringe sind die wesentlichen Komponenten in der Plasmaätzkammer von CCP/ICP-Ätzgeräten und werden typischerweise um den Halbleiterwafer herum platziert. Ihre Hauptfunktionen bestehen darin, den Halbleiterwafer zu stützen, eine gleichmäßige Plasmaverteilung aufrechtzuerhalten, die Waferkante zu schützen und so dazu beizutragen, optimale Betriebsbedingungen für den Plasmaätzprozess zu schaffen.

Vorteile von Semicorex-Silizium-Ätzringen

1. Premium-Materialauswahl

Semicorex-Siliziumätzringe werden aus sorgfältig ausgewähltem, hochreinem MCZ hergestelltmonokristallines Silizium, das gegenüber herkömmlichem monokristallinem CZ-Silizium die folgenden hervorragenden Eigenschaften bietet.

Hohe Reinheit: Die Reinheit liegt bei über 99,9999999 %, was bedeutet, dass Semicorex-Siliziumätzringe nahezu keine Verunreinigungen enthalten. Durch diese ultrahohe Reinheit können Störungen durch Komponentenverunreinigungen während des Ätzprozesses wirksam vermieden werden, wodurch eine hohe Ätzpräzision gewährleistet wird.

Stabile Struktur: Monokristallines MCZ-Silizium weist eine überlegene Kristallstruktur mit weniger Defekten auf als herkömmliches monokristallines CZ-Silizium. Diese stabile Kristallstruktur verleiht den Semicorex-Siliziumätzringen eine verbesserte Korrosionsbeständigkeit gegenüber Plasmakorrosion und ermöglicht es ihnen, rauen Ätzbedingungen standzuhalten.

Hervorragende Gleichmäßigkeit des spezifischen Widerstands:Semicorex-Silizium-Ätzringeliefern eine außergewöhnliche Widerstandsgleichmäßigkeit mit RRG < 5 %. Niedrige Auflösung. (<0,02 Ω·cm), Mittlere Res. (0,2–25 Ω·cm), Hohe Auflösung. (>100 Ω·cm). Diese hervorragende Gleichmäßigkeit des spezifischen Widerstands kann eine ungleichmäßige Plasmaverteilung minimieren, die durch einen übermäßig hohen oder niedrigen spezifischen Widerstand verursacht wird, was zu einem idealen elektrischen Feld für hochpräzises Plasmaätzen beiträgt.

2. Präzise Verarbeitung und strenge Qualitätskontrolle

Semicorex verfügt über ein erfahrenes technisches Team, das unseren geschätzten Kunden individuelle Anpassungen und technische Bewertungen bieten kann und außerdem systematische Verarbeitungs- und Inspektionsverfahren etabliert hat, um die Produktqualität zu gewährleisten.

Flexible Anpassungsdienste: Semicorex unterstützt die Anpassung auf der Grundlage von Kundenzeichnungen, und der maximale kundenspezifische Durchmesser von Siliziumätzringen kann bis zu 470 mm betragen.

Hochwertige Oberflächenbehandlung: Die Poliergenauigkeit kann streng auf Ra < 0,1 µm kontrolliert werden, und durch Feinschleifen wird eine Oberflächengüte von Ra > 0,1 µm erreicht.

Strenge Qualitätsprüfung: Durch Maßmessung, Widerstandsprüfung und Sichtprüfung wird sichergestellt, dass die Siliziumätzringe frei von Absplitterungen, Kratzern, Rissen, Flecken und anderen Mängeln sind.