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Roboter-Endeffektor

Roboter-Endeffektor

Semicorex ist ein führender unabhängiger Hersteller von mit Siliziumkarbid beschichtetem Graphit, präzisionsgefertigtem hochreinem Graphit, der sich auf die Bereiche Siliziumkarbid-beschichteter Graphit, Siliziumkarbid-Keramik und MOCVP in der Halbleiterfertigung konzentriert. Unser Roboter-Endeffektor hat einen guten Preisvorteil und deckt viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Robot End Effector ist die Roboterhand, die Halbleiterwafer zwischen Positionen in Waferverarbeitungsanlagen und Trägern bewegt. Der Roboter-Endeffektor muss maßgenau und thermisch stabil sein und gleichzeitig eine glatte, abriebfeste Oberfläche haben, um Wafer sicher handhaben zu können, ohne Geräte zu beschädigen oder Partikelkontamination zu erzeugen. Unser Roboter-Endeffektor mit hochreinem Siliziumkarbid (SiC)-Beschichtung bietet eine hervorragende Hitzebeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine konsistente Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht sowie eine dauerhafte chemische Beständigkeit.


Parameter des Roboter-Endeffektors

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des Roboter-Endeffektors

Hochreiner SiC-beschichteter Graphit

Hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit

Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche

Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung

Das Material ist so konzipiert, dass keine Risse und Delaminationen auftreten.




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