Roboter-Endeffektor

Semicorex ist ein führender unabhängiger Hersteller von mit Siliziumkarbid beschichtetem Graphit und präzisionsgefertigtem hochreinem Graphit mit Schwerpunkt auf den Bereichen Siliziumkarbid-beschichteter Graphit, Siliziumkarbid-Keramik und MOCVP der Halbleiterfertigung. Unser Roboter-Endeffektor hat einen guten Preisvorteil und deckt viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Der Roboterendeffektor ist die Hand des Roboters, die Halbleiterwafer zwischen Positionen in Waferverarbeitungsgeräten und Trägern bewegt. Roboter-Endeffektoren müssen maßgenau und thermisch stabil sein und gleichzeitig über eine glatte, abriebfeste Oberfläche verfügen, um Wafer sicher handhaben zu können, ohne Geräte zu beschädigen oder Partikelverunreinigungen zu erzeugen. Unser Roboter-Endeffektor mit hochreiner Siliziumkarbid-Beschichtung (SiC) bietet hervorragende Hitzebeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Epi-Schichtdicke und -beständigkeit sowie dauerhafte chemische Beständigkeit.

Parameter des Roboter-Endeffektors

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickershärte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300