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PSS Etching Carrier Tray für LED

PSS Etching Carrier Tray für LED

Bei Semicorex haben wir das PSS Etching Carrier Tray für LED speziell für die rauen Umgebungen entwickelt, die für Epitaxie- und Wafer-Handling-Prozesse erforderlich sind. Unser ultrareiner Graphitträger ist ideal für Dünnfilm-Abscheidungsphasen wie MOCVD, Epitaxie-Suszeptoren, Pfannkuchen- oder Satellitenplattformen und Wafer-Handling-Verarbeitung wie Ätzen. Der SiC-beschichtete Träger hat eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften und eine hohe Wärmeleitfähigkeit. Unsere PSS Etching Carrier Trays für LED sind kostengünstig und bieten einen guten Preisvorteil. Wir beliefern viele europäische und amerikanische Märkte und freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Das PSS Etching Carrier Tray von Semicorex für LED wurde für raue Umgebungen entwickelt, die für epitaktisches Wachstum und Wafer-Handling-Prozesse erforderlich sind. Unser ultrareiner Graphitträger wurde entwickelt, um Wafer während Dünnschichtabscheidungsphasen wie MOCVD- und Epitaxie-Suszeptoren, Pfannkuchen- oder Satellitenplattformen zu unterstützen. Der SiC-beschichtete Träger hat eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften und eine hohe Wärmeleitfähigkeit. Unsere Produkte sind kostengünstig und haben einen guten Preisvorteil. Wir beliefern viele europäische und amerikanische Märkte und freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Parameter des PSS Etching Carrier Tray für LED

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des PSS Etching Carrier Tray für LED

- Vermeiden Sie ein Ablösen und stellen Sie sicher, dass alle Oberflächen beschichtet sind

Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit: Stabil bei hohen Temperaturen bis zu 1600 °C

Hohe Reinheit: Hergestellt durch CVD-CVD unter Hochtemperatur-Chlorierungsbedingungen.

Korrosionsbeständigkeit: hohe Härte, dichte Oberfläche und feine Partikel.

Korrosionsbeständigkeit: Säure, Alkali, Salz und organische Reagenzien.

- Erzielen Sie das beste laminare Gasströmungsmuster

- Gewährleistung der Gleichmäßigkeit des thermischen Profils

- Verhindern Sie jegliche Kontamination oder Diffusion von Verunreinigungen





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