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PSS Ätzträgerplatte für Halbleiter

PSS Ätzträgerplatte für Halbleiter

Die Semicorex PSS-Ätzträgerplatte für Halbleiter wurde speziell für Hochtemperatur- und raue chemische Reinigungsumgebungen entwickelt, die für Epitaxie- und Wafer-Handling-Prozesse erforderlich sind. Unsere ultrareine PSS-Ätzträgerplatte für Halbleiter wurde entwickelt, um Wafer während Dünnschichtabscheidungsphasen wie MOCVD- und Epitaxie-Suszeptoren, Pfannkuchen- oder Satellitenplattformen zu unterstützen. Unser SiC-beschichteter Träger hat eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften und eine hohe Wärmeleitfähigkeit. Wir bieten unseren Kunden kostengünstige Lösungen und unsere Produkte decken viele europäische und amerikanische Märkte ab. Semicorex freut sich darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.

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Produktbeschreibung

Die PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor von Semicorex ist die ideale Lösung für Dünnfilm-Abscheidungsphasen wie MOCVD, Epitaxie-Suszeptoren, Pancake- oder Satellitenplattformen und Wafer-Handling-Verarbeitung wie Ätzen. Unser ultrareiner Graphitträger wurde entwickelt, um Wafer zu stützen und aggressiver chemischer Reinigung und Umgebungen mit hohen Temperaturen standzuhalten. Der SiC-beschichtete Träger hat eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften und eine hohe Wärmeleitfähigkeit. Unsere Produkte sind kostengünstig und haben einen guten Preisvorteil.

Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unsere PSS Ätzträgerplatte für Halbleiter zu erfahren.


Parameter der PSS Ätzträgerplatte für Halbleiter

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale der PSS-Ätzträgerplatte für Halbleiter

- Ablösen vermeiden und Beschichtung auf allen Oberflächen sicherstellen

Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit: Stabil bei hohen Temperaturen bis zu 1600 °C

Hohe Reinheit: Hergestellt durch CVD-CVD unter Hochtemperatur-Chlorierungsbedingungen.

Korrosionsbeständigkeit: hohe Härte, dichte Oberfläche und feine Partikel.

Korrosionsbeständigkeit: Säure, Alkali, Salz und organische Reagenzien.

- Erzielen Sie das beste laminare Gasströmungsmuster

- Gewährleistung der Gleichmäßigkeit des thermischen Profils

- Verhindern Sie jegliche Kontamination oder Diffusion von Verunreinigungen





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