PSS-Ätzträgerplatte für Halbleiter

Die Semicorex PSS Ätzträgerplatte für Halbleiter wurde speziell für Hochtemperatur- und raue chemische Reinigungsumgebungen entwickelt, die für epitaktisches Wachstum und Wafer-Handhabungsprozesse erforderlich sind. Unsere hochreine PSS-Ätzträgerplatte für Halbleiter ist für die Unterstützung von Wafern während Dünnschichtabscheidungsphasen wie MOCVD und Epitaxie-Suszeptoren, Pancake- oder Satellitenplattformen konzipiert. Unser SiC-beschichteter Träger weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften und eine hohe Wärmeleitfähigkeit auf. Wir bieten unseren Kunden kostengünstige Lösungen und unsere Produkte decken viele europäische und amerikanische Märkte ab. Semicorex freut sich darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.

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Produktbeschreibung

Die PSS-Ätzträgerplatte für Halbleiter von Semicorex ist die ideale Lösung für Dünnschicht-Abscheidungsphasen wie MOCVD, Epitaxie-Suszeptoren, Pancake- oder Satellitenplattformen und Wafer-Handhabungsverarbeitung wie Ätzen. Unser ultrareiner Graphitträger ist so konzipiert, dass er Wafer trägt und aggressiven chemischen Reinigungen und Umgebungen mit hohen Temperaturen standhält. Der mit SiC beschichtete Träger weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften und eine hohe Wärmeleitfähigkeit auf. Unsere Produkte sind kostengünstig und haben einen guten Preisvorteil.

Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unsere PSS-Ätzträgerplatte für Halbleiter zu erfahren.

Parameter der PSS-Ätzträgerplatte für Halbleiter

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickershärte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300