Ätzträgerhalter für PSS-Ätzung

Der Ätzträgerhalter von Semicorex für das PSS-Ätzen wurde für die anspruchsvollsten Epitaxiegeräteanwendungen entwickelt. Unser ultrareiner Graphitträger hält rauen Umgebungen, hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung stand. Der SiC-beschichtete Träger hat hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften, eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ist kostengünstig. Unsere Produkte sind in vielen europäischen und amerikanischen Märkten weit verbreitet, und wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Bei Semicorex haben wir den Etching Carrier Holder für das PSS-Ätzen speziell für die rauen Umgebungen entwickelt, die für Epitaxie- und Wafer-Handling-Prozesse erforderlich sind. Unser ultrareiner Graphitträger ist ideal für Dünnfilm-Abscheidungsphasen wie MOCVD, Epitaxie-Suszeptoren, Pfannkuchen- oder Satellitenplattformen und Wafer-Handling-Verarbeitung wie Ätzen. Der SiC-beschichtete Träger hat eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften und eine hohe Wärmeleitfähigkeit. Unsere Produkte sind kostengünstig und bieten einen guten Preisvorteil.

Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unseren Ätzträgerhalter für PSS-Ätzung zu erfahren.

Parameter des Ätzträgerhalters für das PSS-Ätzen

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickers-Härte	2500
Körnung	Î¼m	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J·kg –1 ·K –1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegefestigkeit	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4pt Bend, 1300â)	430
Wärmeausdehnung (CTE)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300