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Der aus Hochleistungs-CVD-SiC-Materialien hergestellte Semicorex CVD-SiC-Fokusring für 2L10-506419-21 ist das entscheidende Ringteil, das speziell für TEL VIGUS RK4-Geräte entwickelt wurde, die in Präzisions-Halbleiterätzprozessen verwendet werden. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, erhalten Sie die idealen CVD-SiC-Lösungen, um präzise und gleichmäßige Ätzergebnisse zu erzielen.

SiC-beschichtete Planetensuszeptoren von Semicorex sind hochpräzise Trägerkomponenten aus Graphit, die mit einer dichten Siliziumkarbidbeschichtung überzogen sind und speziell für die fortschrittliche MOCVD-Ausrüstung entwickelt wurden. Sie können einen gleichmäßigen Gasfluss und eine gleichmäßige Wärmeverteilung ermöglichen und so zur Schaffung einer optimalen Epitaxieumgebung beitragen.

Semicorex SiC-Keramikwaferboote sind leistungsstarke Siliziumkarbidlösungen, die für die sichere Lagerung und den Transport von Wafern während der hochmodernen Halbleiterfertigung entwickelt wurden. Dank dieser hervorragenden Vorteile eignen sie sich gut für präzise Hochtemperatur-Halbleiterfertigungsprozesse wie Oxidations-, Diffusions- und CVD-Prozesse.

Semicorex SiC-beschichtete Gasumleitungsscheiben sind die unverzichtbaren Graphitkomponenten, die in der Halbleiter-Epitaxieausrüstung eingesetzt werden. Sie wurden speziell zur Regulierung des Reaktionsgasflusses und zur Förderung einer gleichmäßigen Gasverteilung innerhalb der Reaktionskammer entwickelt. Wählen Sie Semicorex, wählen Sie die optimalen Gasumleitungslösungen für hochwertige Wafer-Epitaxie-Ergebnisse.

Der SiC-Wafer-Träger von Semicorex besteht aus hochreiner Siliziumkarbid-Keramik mittels 3D-Drucktechnologie, was bedeutet, dass innerhalb kurzer Zeit hochpräzise Bearbeitungskomponenten hergestellt werden können. Semicorex ist bestrebt, seinen weltweiten Kunden qualifizierte, qualitativ hochwertige Produkte anzubieten.*

Semicorex CVD SiC-beschichtete obere Erdungsringe sind die wesentlichen ringförmigen Komponenten, die speziell für die anspruchsvolle Plasmaätzanlage entwickelt wurden. Als branchenführender Lieferant von Halbleiterkomponenten konzentriert sich Semicorex auf die Lieferung hochwertiger, langlebiger und ultrareiner CVD-SiC-beschichteter oberer Erdungsringe, um unseren geschätzten Kunden dabei zu helfen, die Betriebseffizienz und die Gesamtproduktqualität zu verbessern.