SiC-Keramik-Wafer-Boote

Die Auswahl zuverlässiger und langlebiger Waferboote ist entscheidend, um Prozessstabilität und Waferausbeute bei Betriebsbedingungen mit hohen Temperaturen und hoher Korrosion sicherzustellen. SemicorexSiC-KeramikWaferboote sind für diesen Zweck die ideale Wahl, da sie zahlreiche Vorteile bieten, darunter hohe Integration, hohe Stabilität, hohe Temperaturbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und lange Lebensdauer.

Auswahl erstklassiger Rohstoffe

Die Qualitätskontrolle von Semicorex überSiC-Keramik-Wafer-Bootebeginnt mit der strengen Auswahl der Rohstoffe. Semicorex SiC-Keramikwaferboote werden aus hochreinem Siliziumkarbidpulver auf Halbleiterebene durch Hochtemperatursintern hergestellt. Dank ihres erstklassigen Rohmaterials erbringen sie die folgende außergewöhnliche Leistung.

1. Ultrahochreine, geringe Verunreinigung durch metallische Verunreinigungen.

2. Dichte Materialstruktur, die die Kontamination des Wafers durch Partikelabwurf verringert.

3. Hervorragende Korrosionsbeständigkeit gegen Plasma, starke Säuren und Laugen.

4. Hohe Härte und mechanische Festigkeit, verschleiß- und kratzfest.

5. Hervorragende thermische Stabilität, keine Verformung oder Kriechen bei 1250 °C.

6. Hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit, wodurch die thermische Belastung durch schnelle Temperaturänderungen reduziert wird.

Durchdachtes individuelles Design

Semicorex SiC-Keramikwaferboote passen gut zu vielen führenden Ofen-OEMs der Branche, wie TEL, ASM und Kokusai Electric. Semicorex bietet maßgeschneiderte Lösungen für unsere geschätzten Kunden und unterstützt die individuelle Anpassung der Waferbootabmessungen, des Schlitzabstands, der Schlitztiefe, des Schlitzprofils (V-Form oder U-Form) und der entsprechenden Winkel, um eine perfekte Kompatibilität mit Ihren Geräten und Verarbeitungsanforderungen zu ermöglichen.

Präzise Bearbeitungsgenauigkeit

Dank fortschrittlicher Bearbeitungsausrüstung und ausgereifter Verarbeitungstechnologien ist Semicorex in der Lage, die Abmessungen und Toleranzen seiner SiC-Keramik-Waferboote streng zu kontrollieren. Diese hochpräzise Dimensionskontrolle stellt sicher, dass die Halbleiterwafer während des Betriebs fest positioniert sind, wodurch Waferschäden durch Verrutschen oder Kippen wirksam verhindert werden. Nach der Präzisionsbearbeitung können die gleichmäßig verteilten Schlitze der SiC-Keramik-Waferboote sicherstellen, dass jeder Wafer während der Oxidations-, Diffusions- und CVD-Prozesse gleichmäßig erhitzt und reagiert, was erheblich zur Verbesserung der Prozesskonsistenz und der Halbleiterchipausbeute beiträgt.