Bei der Halbleiterfertigung sind Präzision und Stabilität des Ätzprozesses von größter Bedeutung. Ein entscheidender Faktor für die Erzielung einer qualitativ hochwertigen Ätzung ist die Sicherstellung, dass die Wafer während des Prozesses vollkommen flach auf dem Tablett liegen.
WeiterlesenDer Drang nach höherer Leistungsdichte und Effizienz ist zu einem Haupttreiber für Innovationen in zahlreichen Branchen geworden, darunter Rechenzentren, erneuerbare Energien, Unterhaltungselektronik, Elektrofahrzeuge und autonome Fahrtechnologien. Im Bereich der Wide-Bandgap-Materialien (WBG) sind ......
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