In der modernen Materialwissenschaft und -technik können Materialien in drei Hauptkategorien unterteilt werden: Metalle, organische Polymere und Keramik. Unter diesen hat sich Aluminiumoxidkeramik aufgrund ihrer hervorragenden umfassenden Eigenschaften zu einer der am häufigsten hergestellten und am......
WeiterlesenUnter Waferreinigung versteht man den Prozess der Entfernung von Partikelverunreinigungen, organischen Verunreinigungen, Metallverunreinigungen und natürlichen Oxidschichten von der Waferoberfläche mithilfe physikalischer oder chemischer Methoden vor Halbleiterprozessen wie Oxidation, Photolithograp......
WeiterlesenSiliziumkarbidkeramik gehört zu den am häufigsten verwendeten Materialien in der Strukturkeramik. Aufgrund ihrer relativ geringen Wärmeausdehnung, hohen spezifischen Festigkeit, hohen Wärmeleitfähigkeit und Härte, Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit und vor allem ihrer Fähigkeit, auch b......
WeiterlesenHalbleitermaterialien sind Materialien mit elektrischer Leitfähigkeit zwischen Leitern und Isolatoren bei Raumtemperatur, die in Bereichen wie integrierten Schaltkreisen, Kommunikation, Energie und Optoelektronik weit verbreitet sind. Mit der Entwicklung der Technologie haben sich Halbleitermaterial......
WeiterlesenFokusringe sind die wesentlichen Komponenten, um die Gleichmäßigkeit und Stabilität der Halbleiter-Ätzprozesse sicherzustellen. Durch die präzise Steuerung elektrischer und thermischer Felder können Fokusringe das Plasma auf der Waferoberfläche konzentrieren und so konsistente Ätzergebnisse an allen......
WeiterlesenSiliziumkarbid weist eine gute chemische Stabilität auf und widersteht verschiedenen stark korrosiven sauren und alkalischen Medien, wodurch es für Gleitringdichtungen in korrosiven Medien geeignet ist. Korrosionsverschleiß ist eine Hauptursache für den Ausfall von Reibpaarwerkstoffen. Heißgepresste......
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