Semicorex ist ein großer Hersteller und Lieferant von mit Siliziumkarbid beschichtetem Graphit in China. Unser MOCVD-Einlassdichtring hat einen guten Preisvorteil und deckt viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.
Der Semicorex-Siliziumkarbid-beschichtete MOCVD-Einlassdichtring ist ein hochreiner SiC-beschichteter Graphit, der im Abscheidungs- und Wafer-Handhabungsprozess verwendet wird. Der mit SiC beschichtete MOCVD-Einlassdichtring weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf und bietet dadurch eine hohe Stabilität in extremen Umgebungen.
Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger MOCVD-Einlassdichtringe. Wir legen großen Wert auf die Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.
Parameter des MOCVD-Einlassdichtrings
Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung |
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SiC-CVD-Eigenschaften |
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Kristallstruktur |
FCC-β-Phase |
|
Dichte |
g/cm³ |
3.21 |
Härte |
Vickershärte |
2500 |
Körnung |
μm |
2~10 |
Chemische Reinheit |
% |
99.99995 |
Wärmekapazität |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimationstemperatur |
℃ |
2700 |
Biegekraft |
MPa (RT 4-Punkt) |
415 |
Elastizitätsmodul |
Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃) |
430 |
Wärmeausdehnung (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Wärmeleitfähigkeit |
(W/mK) |
300 |
Merkmale des MOCVD-Einlassdichtrings
Hochreiner SiC-beschichteter Graphit
Überlegene Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit
Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche
Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung
Das Material ist so konzipiert, dass es nicht zu Rissen und Delaminationen kommt.