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MOCVD-Einlassdichtring

MOCVD-Einlassdichtring

Semicorex ist ein großer Hersteller und Lieferant von mit Siliziumkarbid beschichtetem Graphit in China. Unser MOCVD-Einlassdichtring hat einen guten Preisvorteil und deckt viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.

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Produktbeschreibung

Der Semicorex-Siliziumkarbid-beschichtete MOCVD-Einlassdichtring ist ein hochreiner SiC-beschichteter Graphit, der im Abscheidungs- und Wafer-Handhabungsprozess verwendet wird. Der mit SiC beschichtete MOCVD-Einlassdichtring weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf und bietet dadurch eine hohe Stabilität in extremen Umgebungen.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger MOCVD-Einlassdichtringe. Wir legen großen Wert auf die Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.


Parameter des MOCVD-Einlassdichtrings

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC-β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickershärte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J kg-1 K-1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegekraft

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)

430

Wärmeausdehnung (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des MOCVD-Einlassdichtrings

Hochreiner SiC-beschichteter Graphit

Überlegene Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit

Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche

Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung

Das Material ist so konzipiert, dass es nicht zu Rissen und Delaminationen kommt.




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