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MOCVD-Einlassdichtungsring

MOCVD-Einlassdichtungsring

Semicorex ist ein großer Hersteller und Lieferant von mit Siliziumkarbid beschichtetem Graphit in China. Unser MOCVD-Einlassdichtring hat einen guten Preisvorteil und deckt viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.

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Produktbeschreibung

Der MOCVD-Einlassdichtungsring mit Semicorex-Siliziumkarbidbeschichtung ist ein hochreiner SiC-beschichteter Graphit, der bei der Abscheidung und dem Wafer-Handhabungsprozess verwendet wird. SiC-beschichteter MOCVD-Einlassdichtring hat eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, die in extremen Umgebungen eine große Stabilität aufweist.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger MOCVD-Einlassdichtungsringe, priorisieren die Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und einen außergewöhnlichen Kundenservice liefert.


Parameter des MOCVD-Einlassdichtungsrings

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des MOCVD-Einlassdichtrings

Hochreiner SiC-beschichteter Graphit

Hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit

Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche

Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung

Das Material ist so konzipiert, dass keine Risse und Delaminationen auftreten.




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