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MOCVD-Einlassringe

MOCVD-Einlassringe

Semicorex ist ein großer Hersteller und Lieferant von mit Siliziumkarbid beschichtetem Graphit in China. Unsere MOCVD-Einlassringe haben einen guten Preisvorteil und decken viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.

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Produktbeschreibung

Semicorex liefert MOCVD-Einlassringe für die Abscheidung und Waferverarbeitung, die für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung wirklich stabil sind. Unsere MOCVD-Einlassringe haben eine mit hochreinem Siliziumkarbid (SiC) beschichtete Graphitkonstruktion, die eine hervorragende Hitzebeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine konsistente Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht sowie eine dauerhafte chemische Beständigkeit bietet. Eine feine SiC-Kristallbeschichtung sorgt für eine saubere, glatte Oberfläche, die für die Handhabung entscheidend ist, da makellose Wafer den Suszeptor an vielen Punkten über ihre gesamte Fläche berühren.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger MOCVD-Einlassringe, wir legen Wert auf Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und einen außergewöhnlichen Kundenservice liefert.


Parameter von MOCVD-Einlassringen

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale von MOCVD-Einlassringen

- Gute Dichte und kann eine gute schützende Rolle in Hochtemperatur- und korrosiven Arbeitsumgebungen spielen.

- Hoher Schmelzpunkt, Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit.




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