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LPE-Fass-Suszeptor mit SiC-Beschichtung

LPE-Fass-Suszeptor mit SiC-Beschichtung

Wenn Sie nach einem hochwertigen Graphit-Suszeptor suchen, der mit hochreinem SiC beschichtet ist, ist der Semicorex LPE Barrel Susceptor mit SiC-Beschichtung die perfekte Wahl. Seine außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit und Wärmeverteilungseigenschaften machen es ideal für den Einsatz in der Halbleiterfertigung.

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Produktbeschreibung

Der Semicorex LPE Barrel Susceptor mit SiC-Beschichtung ist ein hochwertiges Graphitprodukt, das mit hochreinem SiC beschichtet ist, was es zur idealen Wahl für den Einsatz in Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen macht. Seine hervorragende Dichte und Wärmeleitfähigkeit bieten eine außergewöhnliche Wärmeverteilung und Schutz bei Anwendungen in der Halbleiterfertigung.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns darauf, unseren Kunden qualitativ hochwertige und kostengünstige Produkte anzubieten. Unser LPE Barrel Susceptor mit SiC-Beschichtung hat einen Preisvorteil und wird in viele europäische und amerikanische Märkte exportiert. Unser Ziel ist es, Ihr langfristiger Partner zu sein, der gleichbleibende Qualitätsprodukte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.


Parameter des LPE-Fass-Suszeptors mit SiC-Beschichtung

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des LPE Barrel Susceptor mit SiC-Beschichtung

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine gute Dichte und können eine gute schützende Rolle in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und korrosiven Einflüssen spielen.

- Mit Siliziumkarbid beschichteter Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, hat eine sehr hohe Oberflächenebenheit.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delamination zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit.




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