Horizontale Kammerofen Sic Boote

Semicorex Horizontale Kammerofen SIC-Boote sind ein hochrangiger Teil, der Wafer oder Substrate hält und trägt, während sie einer thermischen Verarbeitung von Hochtemperaturen in einem horizontalen Kammerofen ausgesetzt sind. Das Waferboot besteht aus hochreinem sic gebunden Siliziumkarbid (sic), die die einzigartige Kombination aus Festigkeit, thermischer Stabilität und hoher chemischer Resistenz liefert, die in Halbleiter-, Photovoltaik- und fortschrittlichen Keramikprozessen gefordert werden. Das Waferboot fungiert auch als starre Struktur, um Wafer in Position zu halten, die dimensionale Stabilität und die Präzision der Wafer nicht durch eine längere Exposition gegenüber den extremen Prozesstemperaturen.

Die überlegenen Eigenschaften von Siliziumkarbid bieten die horizontalen Kammerofen -SIC -Boote im Vergleich zu typischen Materialien für Waferboote wie Quarz oder Aluminiumoxid einen überlegenen Leistungsvorteil. Sie können aufgrund ihres hohen Schmelzpunkts, ihres thermischen Stoßwiderstands und ihrer mechanischen Festigkeit, unabhängig von der Geschwindigkeit des Erhitzens und Abkühlens oder der Extreme des Wärmezyklus, besser dem Heiz- und Kühlzyklen mit kurzer Dauer standhalten. Da ein horizontaler Ofen vollständig auf der Konsistenz der Positionen der Wafer und der Exposition der Prozessbedingungen beruht, sieht die ordnungsgemäße Ausrichtung von Wafern eine konsistente Prozessertrag und Wiederholbarkeit vor. Der niedrige Wärmeleitungskoeffizient bedeutet, dass das Boot über seine Lebensdauer nicht verzerrt wird und eine zurückhaltende Form und den Abstand der Wafer liefert.

Die feinkörnige, dichte Struktur von rekristallisiertem sic bietet einen bemerkenswerten Widerstand gegen Oxidation, Korrosion und Kontamination durch Prozessgase und Nebenprodukte. Dies macht das Boot für Prozesse in aggressiven Atmosphären wie Diffusion, Oxidation, LPCVD und Tempern besonders vorteilhaft. Die hohe chemische Inertheit von sic vermeidet Reaktionen mit den Waferoberflächen, wodurch die Produktreinheit beibehalten und die Partikelerzeugung im Ofen minimiert. SIC -Boote können Herstellern helfen, die den strengen Sauberkeitsanforderungen erfüllen müssen, um sauberere Verarbeitungsumgebungen und eine verbesserte Waferqualität zu gewährleisten.

Diese Boote können mit verschiedenen komplexen Geometrien und teilsspezifischen Abmessungen mit Präzisionsbearbeitungs- und Formtechniken hergestellt werden. Die Konstruktionen verwenden im Allgemeinen mehrere parallele Steckplätze/Rillen, um die Wafer in horizontaler Ausrichtung sicher zu halten und die gesamte Waferoberfläche gleichmäßig den thermischen Bedingungen auszusetzen. Slot-to-Slot-Abstand und -winkel können auch so optimiert werden, dass sie Wafer anderer Durchmesser wie 150 mm, 200 mm oder 300 mm und direkter Luftstrom während der Verarbeitungseffekte entsprechen und gleichzeitig die Temperaturgleichmäßigkeit für die Verarbeitung erreichen.

Die SIC-Boote für horizontale Kammerofen können nicht nur in Standardabfällen konzipiert werden, sondern können auch so konzipiert werden, dass sie mit automatisierten Waferladern arbeiten, was zu einer nahtlosen Integration in moderne Produktionslinien mit Hochdurchsatz führt. Das robuste Design macht die Boote auch weniger wahrscheinlich, dass sie während der Handhabung abhauen oder brechen und die Ausfallzeiten und die Kosten für den Austausch verringern.

Die thermische Leitfähigkeit vonSiliziumkarbidstellt einen weiteren wichtigen Vorteil dar, der die effiziente Wärmeübertragung zwischen den Wafern und der Ofenumgebung erleichtert. Der Vorteil besteht darin, dass Hersteller in der Lage sind, einheitlichere Verarbeitungsbedingungen und Verkürzungszykluszeiten zu erreichen, was die Produktionseffizienz erhöhen kann. Die SIC -Boote liefern konsistente und wiederholbare Ergebnisse, unabhängig davon, ob sie für die Herstellung von Halbleiterwafer, die Herstellung von Solarzellen oder für andere fortschrittliche Materialverarbeitung bei erhöhten Temperaturen verwendet werden.

Zusammenfassend ist die SIC-Boote für horizontale Kammerofen eine Schlüsselkomponente für Hersteller, die Wafer mit hoher Leistung, langlebiger und kontaminierresistenter Waferträger herstellen möchten. Es hat eine mechanische Festigkeit, thermische Stabilität und chemische Trägheit, die in horizontalen Öfen ungleich ist. Durch die Auswahl von Siliziumcarbidbooten können die Betreiber eine bessere Prozesskontrolle, höhere Erträge nutzen und die Betriebsunterbrechungen aufgrund der Wartung minimieren. Insgesamt sorgt es für effizientere und kostengünstigere Produktionen.