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Hochtemperatur-SiC-beschichteter Zylinder-Suszeptor

Hochtemperatur-SiC-beschichteter Zylinder-Suszeptor

Wenn es um die Halbleiterfertigung geht, ist der Hochtemperatur-SiC-beschichtete Barrel-Suszeptor von Semicorex die erste Wahl für überlegene Leistung und Zuverlässigkeit. Seine hochwertige SiC-Beschichtung und außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit machen es ideal für den Einsatz selbst in den anspruchsvollsten Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen.

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Produktbeschreibung

Der SiC-beschichtete Hochtemperatur-Trommelsuszeptor von Semicorex ist die perfekte Wahl für die Einkristallzüchtung und andere Halbleiterfertigungsanwendungen, die eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit erfordern. Seine Siliziumkarbidbeschichtung bietet überlegene Schutz- und Wärmeverteilungseigenschaften und gewährleistet eine zuverlässige und konsistente Leistung selbst in den anspruchsvollsten Umgebungen.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung qualitativ hochwertiger, kostengünstiger SiC-beschichteter Hochtemperatur-Fasssuszeptoren. Wir legen Wert auf Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und einen außergewöhnlichen Kundenservice liefert.


Parameter des Hochtemperatur-SiC-beschichteten Trommelsuszeptors

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Bend, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des Hochtemperatur-SiC-beschichteten Trommelsuszeptors

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine gute Dichte und können eine gute schützende Rolle in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und korrosiven Einflüssen spielen.

- Mit Siliziumkarbid beschichteter Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, hat eine sehr hohe Oberflächenebenheit.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delamination zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit.




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