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Langlebiger, SiC-beschichteter Zylinder-Suszeptor für LPE

Langlebiger, SiC-beschichteter Zylinder-Suszeptor für LPE

Mit seiner hervorragenden Dichte und Wärmeleitfähigkeit ist der Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor für LPE die ideale Wahl für den Einsatz in LPE-Prozessen und anderen Halbleiterfertigungsanwendungen. Seine hochreine SiC-Beschichtung bietet hervorragende Schutz- und Wärmeverteilungseigenschaften und ist damit die erste Wahl für zuverlässige und konsistente Ergebnisse.

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Produktbeschreibung

Wenn Sie einen hochwertigen Graphit-Suszeptor mit hervorragender Hitze- und Korrosionsbeständigkeit benötigen, sind Sie beim Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor für LPE genau richtig. Seine Siliziumkarbidbeschichtung bietet eine außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit und Wärmeverteilung und gewährleistet eine zuverlässige und konsistente Leistung selbst in den anspruchsvollsten Hochtemperaturumgebungen.

Unser langlebiger, SiC-beschichteter Zylinder-Suszeptor für LPE wurde entwickelt, um das beste laminare Gasströmungsmuster zu erzielen und ein gleichmäßiges thermisches Profil zu gewährleisten. Dies trägt dazu bei, jegliche Kontamination oder Diffusion von Verunreinigungen zu verhindern, wodurch ein qualitativ hochwertiges epitaxiales Wachstum auf dem Waferchip sichergestellt wird.

Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unseren langlebigen SiC-beschichteten Barrel-Suszeptor für LPE zu erfahren.


Parameter des langlebigen SiC-beschichteten Tonnensuszeptors für LPE

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des langlebigen SiC-beschichteten Trommelsuszeptors für LPE

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine gute Dichte und können eine gute schützende Rolle in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und korrosiven Einflüssen spielen.

- Mit Siliziumkarbid beschichteter Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, hat eine sehr hohe Oberflächenebenheit.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delamination zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit.




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