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Langlebige Fokusringe für die Halbleiterverarbeitung

Die langlebigen Fokusringe von Semicorex für die Halbleiterverarbeitung sind so konzipiert, dass sie den extremen Umgebungen von Plasmaätzkammern standhalten, die in der Halbleiterverarbeitung verwendet werden. Unsere Fokusringe bestehen aus hochreinem Graphit, der mit einer dichten, verschleißfesten Siliziumkarbid (SiC)-Beschichtung beschichtet ist. Die SiC-Beschichtung weist hohe Korrosions- und Hitzebeständigkeitseigenschaften sowie eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit auf. Um die Lebensdauer unserer Fokusringe zu verbessern, tragen wir SiC im chemischen Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) in dünnen Schichten auf den Graphit auf.

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Produktbeschreibung

Unsere langlebigen Fokusringe für die Halbleiterverarbeitung sind darauf ausgelegt, die Ätzgleichmäßigkeit am Waferrand oder -umfang zu verbessern und so Verunreinigungen und außerplanmäßige Wartungsarbeiten zu minimieren. Sie sind äußerst stabil für schnelles thermisches Ausheilen (RTA), schnelle thermische Verarbeitung (RTP) und aggressive chemische Reinigung.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger und langlebiger Fokusringe für die Halbleiterverarbeitung. Wir legen großen Wert auf die Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.

Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unsere langlebigen Fokusringe für die Halbleiterbearbeitung zu erfahren.

Parameter langlebiger Fokusringe für die Halbleiterbearbeitung

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickershärte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300

Merkmale langlebiger Fokusringe für die Halbleiterbearbeitung

● Hochreine Graphit- und SiC-Beschichtung für Pinhole-Resistenz und längere Lebensdauer.

● Sowohl das Graphitsubstrat als auch die SiC-Schicht weisen eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften auf.

● Zur Verbesserung der Lebensdauer wird die SiC-Beschichtung in dünnen Schichten aufgetragen.

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