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Langlebige Fokusringe für die Halbleiterverarbeitung

Langlebige Fokusringe für die Halbleiterverarbeitung

Die langlebigen Fokusringe von Semicorex für die Halbleiterverarbeitung sind so konzipiert, dass sie den extremen Umgebungen von Plasmaätzkammern standhalten, die bei der Halbleiterverarbeitung verwendet werden. Unsere Fokusringe bestehen aus hochreinem Graphit, der mit einer dichten, verschleißfesten Siliziumkarbid (SiC)-Beschichtung beschichtet ist. Die SiC-Beschichtung hat hohe Korrosions- und Hitzebeständigkeitseigenschaften sowie eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit. Um die Lebensdauer unserer Fokusringe zu verbessern, tragen wir SiC im CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition) in dünnen Schichten auf den Graphit auf.

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Produktbeschreibung

Unsere langlebigen Fokusringe für die Halbleiterverarbeitung wurden entwickelt, um die Ätzgleichmäßigkeit um die Waferkante oder den Waferumfang herum zu verbessern und so Kontamination und außerplanmäßige Wartung zu minimieren. Sie sind sehr stabil für Rapid Thermal Annealing (RTA), Rapid Thermal Processing (RTP) und aggressive chemische Reinigung.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger, langlebiger Fokusringe für die Halbleiterverarbeitung, wir legen Wert auf Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und einen außergewöhnlichen Kundenservice liefert.

Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unsere langlebigen Fokusringe für die Halbleiterverarbeitung zu erfahren.


Parameter von langlebigen Fokusringen für die Halbleiterverarbeitung

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale langlebiger Fokusringe für die Halbleiterverarbeitung

â Hochreine Graphit- und SiC-Beschichtung für Pinhole-Resistenz und höhere Lebensdauer.

â Sowohl das Graphitsubstrat als auch die SiC-Schicht haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete Wärmeverteilungseigenschaften.

â SiC-Beschichtung wird in dünnen Schichten aufgetragen, um die Lebensdauer zu verbessern.



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