Diffusionsofenrohr

Das Semicorex-Diffusionsofenrohr ist eine entscheidende Komponente in Halbleiterfertigungsanlagen und wurde speziell entwickelt, um präzise und kontrollierte Reaktionen zu ermöglichen, die für Halbleiterfertigungsprozesse unerlässlich sind. Als Primärgefäß innerhalb der Reaktionszone eines Halbleiterofens spielt das Diffusionsofenrohr eine entscheidende Rolle bei der Gewährleistung der Integrität und Qualität der hergestellten Halbleiterbauelemente. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Diffusionsofenrohre bestehen typischerweise aus hochreinem Quarz oder SiC, die beide eine außergewöhnliche thermische Stabilität und Beständigkeit gegenüber chemischen Reaktionen aufweisen. Dies ist wichtig, da das Diffusionsofenrohr keine Verunreinigungen in die zu verarbeitenden Halbleitermaterialien einbringen darf. Selbst kleinste Verunreinigungen können erhebliche nachteilige Auswirkungen auf die Leistung und Zuverlässigkeit der hergestellten Halbleiterbauelemente haben.

Die beim Bau des Diffusionsofenrohrs verwendeten Materialien werden aufgrund ihrer hohen Reinheit ausgewählt, um eine Kontamination der Halbleiterwafer während der Verarbeitung zu verhindern. Das Diffusionsofenrohr hält extremen Temperaturen stand, die bei der Halbleiterverarbeitung auftreten, ohne sich zu verformen oder seine strukturelle Integrität zu beeinträchtigen. Dies gewährleistet eine gleichbleibende und zuverlässige Leistung über längere Betriebszeiten. Neben der thermischen Stabilität weist das Diffusionsofenrohr auch eine Beständigkeit gegenüber der korrosiven Wirkung der bei der Halbleiterverarbeitung verwendeten Chemikalien und Gase auf. Dies verhindert eine Verschlechterung der Röhre im Laufe der Zeit und gewährleistet eine lange Lebensdauer.

Einige Diffusionsofenrohre verfügen möglicherweise über Auskleidungen aus speziellen Materialien, um ihre Leistung weiter zu verbessern oder zusätzlichen Schutz vor Verunreinigungen oder chemischen Reaktionen zu bieten. Diese Auskleidungen werden sorgfältig ausgewählt, um die Eigenschaften des Rohrmaterials und die spezifischen Anforderungen des Halbleiterfertigungsprozesses zu ergänzen.