Kundenspezifisches SiC-Cantilever-Paddel

Das kundenspezifische SiC-Cantilever-Paddel von Semicorex dient als entscheidende Verbindung zwischen dem Wafer-Ladesystem und dem Herzen des Diffusionsofens und ist für den Transport von mit Siliziumwafern beladenen Quarz- oder SiC-Waferbooten in die Hochtemperatur-Verarbeitungszone verantwortlich. Ihre Design- und Materialeigenschaften sind sorgfältig auf diese anspruchsvolle Aufgabe optimiert:

Robuste Auslegerstruktur für stabilen Wafertransport:Das freitragende Design, das sich durch einen starren Arm auszeichnet, der in den Ofen hineinragt, sorgt für außergewöhnliche Stabilität und präzise Kontrolle über die Waferbewegung. Dies gewährleistet einen reibungslosen und vibrationsfreien Transport und minimiert das Risiko eines Waferbruchs oder einer Fehlausrichtung beim Be- und Entladen.

Hohe Belastbarkeit für effiziente Chargenverarbeitung:Die inhärente Festigkeit und Steifigkeit von SiC-Keramik ermöglicht es dem Custom SiC Cantilever Paddle, schwere Lasten an Siliziumwafern aufzunehmen, was den Durchsatz jedes Diffusionszyklus maximiert und zu höheren Produktionsmengen beiträgt.

Präzise Dimensionskontrolle für nahtlose Integration: Das kundenspezifische SiC-Cantilever-Paddel wird sorgfältig nach präzisen Maßangaben gefertigt, um eine perfekte Passform innerhalb des Diffusionsofensystems zu gewährleisten und eine nahtlose Integration mit automatisierten Wafer-Handhabungsrobotern zu ermöglichen.

Insbesondere die Auswahl der SiC-KeramikReaktionsgebundenes Siliziumkarbid (RBSiC)UndGesintertes Siliziumkarbid (SSiC), da das Material der Wahl für das Custom SiC Cantilever Paddle aufgrund seiner außergewöhnlichen Leistungseigenschaften in Umgebungen mit hohen Temperaturen gewählt wurde:

Unerschütterliche Hochtemperaturstabilität: Das Custom SiC Cantilever Paddle weist eine außergewöhnliche Beständigkeit gegen Verformung und Kriechen auf, selbst bei den erhöhten Temperaturen (bis zu 1600 °C), die in Diffusionsöfen auftreten. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Waferunterstützung und verhindert ein Durchhängen oder Biegen, das die Gleichmäßigkeit der Wafer beeinträchtigen könnte.

Außergewöhnliche Temperaturwechselbeständigkeit:Die Fähigkeit, schnelle Temperaturübergänge ohne Schaden zu überstehen, ist entscheidend für die Aufrechterhaltung der Integrität des Custom SiC Cantilever Paddle über unzählige Diffusionszyklen hinweg. SiC-Keramik zeichnet sich in dieser Hinsicht aus und minimiert das Risiko von Rissen oder Brüchen, die zu kostspieligen Ausfallzeiten führen könnten.

Geringe Wärmeausdehnung für präzise Ausrichtung:Die minimale Wärmeausdehnung von SiC-Keramik stellt sicher, dass das Custom SiC Cantilever Paddle seine Dimensionsstabilität über die großen Temperaturbereiche während des Betriebs beibehält. Dies ist entscheidend für die Aufrechterhaltung einer präzisen Ausrichtung der Wafer im Ofen und sorgt für eine gleichmäßige Erwärmung und konsistente Diffusionsprofile.