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Keramik-Waferträger
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Keramik-Waferträger

Semicorex bietet Keramik in Halbleiterqualität für Ihre OEM-Halbfabrikationswerkzeuge und Wafer-Handhabungskomponenten mit Schwerpunkt auf Siliziumkarbidschichten in der Halbleiterindustrie. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Keramik-Waferträgern. Unsere Produkte haben einen guten Preisvorteil und decken die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Siliziumkarbid-Keramik-Waferträger weisen eine gute Korrosionsbeständigkeit und eine ausgezeichnete Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen und Thermoschocks auf. Ein hoher Elastizitätsmodul führt darüber hinaus zu einer hervorragenden Dimensionsstabilität. Hinzu kommen die Nullporosität und die geringe Porendichte des Keramikmaterials.
Wir können alle Arten von Keramikwaferträgern nach Kundenwunsch verarbeiten.


Parameter des Keramikwaferträgers

Technische Eigenschaften

Index

Einheit

Wert

Materialname

Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid

Drucklos gesintertes Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid

Zusammensetzung

RBSiC

SSiC

R-SiC

Schüttdichte

g/cm3

3

3,15 ± 0,03

2,60-2,70

Biegefestigkeit

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C) 90–100 (1400 °C)

Druckfestigkeit

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

Härte

Taste

2700

2800

/

Hartnäckigkeit brechen

MPa m1/2

4.5

4

/

Wärmeleitfähigkeit

W/m.k

95

120

23

Wärmeausdehnungskoeffizient

10-6.1/°C

5

4

4.7

Spezifische Wärme

Joule/g 0k

0.8

0.67

/

Maximale Temperatur in der Luft

1200

1500

1600

Elastizitätsmodul

Gpa

360

410

240


Semicorex produzierte Keramikwaferträger in drei Formen: reaktionsgesintertes Siliziumkarbid (RBSiC), drucklos gesintertes Siliziumkarbid (SSiC) und rekristallines Siliziumkarbid (R-SiC).


Der Unterschied zwischen SSiC und RBSiC:

1. Der Sinterprozess ist anders. RBSiC soll bei niedriger Temperatur freies Si in Siliziumkarbid infiltrieren, SSiC entsteht durch natürliche Schrumpfung bei 2100 Grad.

2. SSiC hat eine glattere Oberfläche, eine höhere Dichte und eine höhere Festigkeit. Für einige Dichtungen mit strengeren Oberflächenanforderungen ist SSiC besser.

3. Unterschiedliche Nutzungsdauer bei unterschiedlichem pH-Wert und unterschiedlicher Temperatur, SSiC ist länger als RBSiC


Merkmale des Keramikwaferträgers

Hochreiner SiC-beschichteter Graphit
Überlegene Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit
Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche
Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung
Das Material ist so konzipiert, dass es nicht zu Rissen und Delaminationen kommt.


Verfügbare Formen von Siliziumkarbidkeramik:

● Keramikstab / Keramikstift / Keramikkolben

● Keramikrohr / Keramikbuchse / Keramikhülse

● Keramikring / Keramikscheibe / Keramikabstandshalter

● Keramikscheibe

● Keramikplatte / Keramikblock

● Keramikkugel

● Keramikkolben

● Keramikdüse

● Keramiktiegel

● Andere kundenspezifische Keramikteile



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