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Keramische Waffelschiffchen
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Semicorex bietet Waferboote, Sockel und kundenspezifische Waferträger für vertikale/Säulen- und horizontale Konfigurationen an. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Beschichtungsfilmen aus Siliziumkarbid. Unser Ceramic Wafer Boat hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Wir stellen unser hochwertiges Siliziumkarbid-Keramikwaferboot vor, das als zuverlässige Lösung für die Waferverarbeitung in verschiedenen Branchen entwickelt wurde. Diese Keramiksockel werden aus hochreiner Keramik hergestellt, die eine hervorragende Beständigkeit gegen Temperaturschock, Abrieb und chemische Korrosion bietet, wodurch sie sich ideal für raue Waferverarbeitungsumgebungen eignen.
Unsere Keramikwaferboote sind ebenfalls hochgradig kundenspezifisch, und wir können mit Ihnen zusammenarbeiten, um kundenspezifische Sockel zu erstellen, die Ihren einzigartigen Spezifikationen entsprechen. Wir sind stolz auf unsere Fähigkeit, qualitativ hochwertige, zuverlässige Produkte zu liefern, die die Anforderungen unserer Kunden erfüllen. Unsere Keramik-Waferboote sind auf Langlebigkeit ausgelegt und bieten eine lange Lebensdauer, um sicherzustellen, dass Sie den größtmöglichen Nutzen aus Ihrer Investition ziehen.
Bestellen Sie jetzt und erleben Sie die Vorteile unseres hochwertigen Keramik-Waferschiffchens in Ihrer Waferverarbeitung.


Parameter des Keramikwaferboots

Technische Eigenschaften

Index

Einheit

Wert

Material Name

Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid

Drucklos gesintertes Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid

Komposition

RBSiC

SSiC

R-SiC

Schüttdichte

g/cm3

3

3,15 ± 0,03

2,60-2,70

Biegefestigkeit

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

Druckfestigkeit

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

Härte

Knoop

2700

2800

/

Hartnäckigkeit brechen

MPa·m1/2

4.5

4

/

Wärmeleitfähigkeit

W/m.k

95

120

23

Der Wärmeausdehnungskoeffizient

10-6.1/°C

5

4

4.7

Spezifische Wärme

Joule/g 0k

0.8

0.67

/

Maximale Temperatur in der Luft

1200

1500

1600

Elastizitätsmodul

Gpa

360

410

240


Der Unterschied zwischen SSiC und RBSiC:

1. Der Sinterprozess ist anders. RBSiC soll freies Si bei niedriger Temperatur in Siliziumkarbid infiltrieren, SSiC wird durch natürliches Schrumpfen bei 2100 Grad gebildet.

2. SSiC hat eine glattere Oberfläche, eine höhere Dichte und eine höhere Festigkeit. Für einige Dichtungen mit strengeren Oberflächenanforderungen ist SSiC besser.

3. Unterschiedliche Nutzungszeiten bei unterschiedlichen pH-Werten und Temperaturen, SSiC ist länger als RBSiC


Merkmale des Keramikwaferboots

Hergestellt aus hochreiner Aluminiumoxid-Keramik für hervorragende Beständigkeit gegen Temperaturwechsel, Abrieb und chemische Korrosion
Entwickelt für optimale Unterstützung und Stabilität während der Waferverarbeitung, wodurch das Risiko einer Beschädigung oder Kontamination minimiert wird
Erhältlich in verschiedenen Größen für unterschiedliche Waferdurchmesser und -dicken
Anpassbar, um einzigartige Spezifikationen zu erfüllen
Gebaut, um zu halten und eine lange Lebensdauer zu bieten



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