Keramisches Waffelboot

Semicorex bietet Waferboote, Sockel und kundenspezifische Waferträger sowohl für vertikale/Säulen- als auch horizontale Konfigurationen. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Siliziumkarbid-Beschichtungsfolien. Unser Keramik-Wafer-Boot hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Wir stellen Ihnen unser hochwertiges Siliziumkarbid-Keramik-Wafer-Boot vor, das eine zuverlässige Lösung für die Wafer-Verarbeitung in verschiedenen Branchen bietet. Diese Keramiksockel werden aus hochreiner Keramik hergestellt, die eine hervorragende Beständigkeit gegen Thermoschock, Abrieb und chemische Korrosion bietet und sich daher ideal für raue Umgebungen bei der Waferverarbeitung eignet.
Auch unsere Keramik-Wafer-Boote sind hochgradig individuell gestaltet und wir können mit Ihnen zusammenarbeiten, um maßgeschneiderte Sockel zu erstellen, die Ihren individuellen Spezifikationen entsprechen. Wir sind stolz auf unsere Fähigkeit, qualitativ hochwertige und zuverlässige Produkte zu liefern, die den Anforderungen unserer Kunden gerecht werden. Unsere Keramik-Wafer-Boote sind auf Langlebigkeit ausgelegt und bieten eine lange Lebensdauer, sodass Sie den größtmöglichen Nutzen aus Ihrer Investition ziehen.
Bestellen Sie jetzt und erleben Sie die Vorteile unseres hochwertigen Keramik-Wafer-Bootes in Ihren Wafer-Verarbeitungsbetrieben.

Parameter des Keramik-Wafer-Bootes

Technische Eigenschaften
Index	Einheit	Wert
Materialname		Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid	Drucklos gesintertes Siliziumkarbid	Rekristallisiertes Siliziumkarbid
Zusammensetzung		RBSiC	SSiC	R-SiC
Schüttdichte	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Biegefestigkeit	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90–100 (1400 °C)
Druckfestigkeit	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Härte	Taste	2700	2800	/
Hartnäckigkeit brechen	MPa m1/2	4.5	4	/
Wärmeleitfähigkeit	W/m.k	95	120	23
Wärmeausdehnungskoeffizient	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Spezifische Wärme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximale Temperatur in der Luft	℃	1200	1500	1600
Elastizitätsmodul	Gpa	360	410	240

Der Unterschied zwischen SSiC und RBSiC:

1. Der Sinterprozess ist anders. RBSiC soll bei niedriger Temperatur freies Si in Siliziumkarbid infiltrieren, SSiC entsteht durch natürliche Schrumpfung bei 2100 Grad.

2. SSiC hat eine glattere Oberfläche, eine höhere Dichte und eine höhere Festigkeit. Für einige Dichtungen mit strengeren Oberflächenanforderungen ist SSiC besser.

3. Unterschiedliche Nutzungsdauer bei unterschiedlichem pH-Wert und unterschiedlicher Temperatur, SSiC ist länger als RBSiC

Merkmale des Keramik-Wafer-Bootes

Hergestellt aus hochreiner Aluminiumoxidkeramik für hervorragende Beständigkeit gegen Temperaturschock, Abrieb und chemische Korrosion
Entwickelt für optimale Unterstützung und Stabilität während der Waferverarbeitung, wodurch das Risiko einer Beschädigung oder Kontamination minimiert wird
Erhältlich in verschiedenen Größen zur Anpassung an unterschiedliche Waferdurchmesser und -dicken
Anpassbar, um individuelle Spezifikationen zu erfüllen
Gebaut für eine lange Lebensdauer und eine lange Lebensdauer