Keramische Waffelschiffchen

Semicorex bietet Waferboote, Sockel und kundenspezifische Waferträger für vertikale/Säulen- und horizontale Konfigurationen an. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Beschichtungsfilmen aus Siliziumkarbid. Unser Ceramic Wafer Boat hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Wir stellen unser hochwertiges Siliziumkarbid-Keramikwaferboot vor, das als zuverlässige Lösung für die Waferverarbeitung in verschiedenen Branchen entwickelt wurde. Diese Keramiksockel werden aus hochreiner Keramik hergestellt, die eine hervorragende Beständigkeit gegen Temperaturschock, Abrieb und chemische Korrosion bietet, wodurch sie sich ideal für raue Waferverarbeitungsumgebungen eignen.
Unsere Keramikwaferboote sind ebenfalls hochgradig kundenspezifisch, und wir können mit Ihnen zusammenarbeiten, um kundenspezifische Sockel zu erstellen, die Ihren einzigartigen Spezifikationen entsprechen. Wir sind stolz auf unsere Fähigkeit, qualitativ hochwertige, zuverlässige Produkte zu liefern, die die Anforderungen unserer Kunden erfüllen. Unsere Keramik-Waferboote sind auf Langlebigkeit ausgelegt und bieten eine lange Lebensdauer, um sicherzustellen, dass Sie den größtmöglichen Nutzen aus Ihrer Investition ziehen.
Bestellen Sie jetzt und erleben Sie die Vorteile unseres hochwertigen Keramik-Waferschiffchens in Ihrer Waferverarbeitung.

Parameter des Keramikwaferboots

Technische Eigenschaften
Index	Einheit	Wert
Material Name		Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid	Drucklos gesintertes Siliziumkarbid	Rekristallisiertes Siliziumkarbid
Komposition		RBSiC	SSiC	R-SiC
Schüttdichte	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Biegefestigkeit	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Druckfestigkeit	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Härte	Knoop	2700	2800	/
Hartnäckigkeit brechen	MPa·m1/2	4.5	4	/
Wärmeleitfähigkeit	W/m.k	95	120	23
Der Wärmeausdehnungskoeffizient	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Spezifische Wärme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximale Temperatur in der Luft	℃	1200	1500	1600
Elastizitätsmodul	Gpa	360	410	240

Der Unterschied zwischen SSiC und RBSiC:

1. Der Sinterprozess ist anders. RBSiC soll freies Si bei niedriger Temperatur in Siliziumkarbid infiltrieren, SSiC wird durch natürliches Schrumpfen bei 2100 Grad gebildet.

2. SSiC hat eine glattere Oberfläche, eine höhere Dichte und eine höhere Festigkeit. Für einige Dichtungen mit strengeren Oberflächenanforderungen ist SSiC besser.

3. Unterschiedliche Nutzungszeiten bei unterschiedlichen pH-Werten und Temperaturen, SSiC ist länger als RBSiC

Merkmale des Keramikwaferboots

Hergestellt aus hochreiner Aluminiumoxid-Keramik für hervorragende Beständigkeit gegen Temperaturwechsel, Abrieb und chemische Korrosion
Entwickelt für optimale Unterstützung und Stabilität während der Waferverarbeitung, wodurch das Risiko einer Beschädigung oder Kontamination minimiert wird
Erhältlich in verschiedenen Größen für unterschiedliche Waferdurchmesser und -dicken
Anpassbar, um einzigartige Spezifikationen zu erfüllen
Gebaut, um zu halten und eine lange Lebensdauer zu bieten