Semicorex bietet Keramik in Halbleiterqualität für Ihre OEM-Halbfabrikationswerkzeuge und Wafer-Handhabungskomponenten. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Siliziumkarbid-Beschichtungsfolien. Unsere Keramik-Achshülse hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
Siliziumkarbid (SiC) ist eine synthetische, halbleitende Feinkeramik, die sich in einem breiten Spektrum industrieller Märkte bewährt. Die Keramik-Achshülse von Semicorex bietet sowohl hochdichte als auch offenporöse Strukturen, kombiniert mit der hervorragenden Hochtemperaturfestigkeit und Thermoschockbeständigkeit des Materials sowie von Natur aus beeindruckenden mechanischen Eigenschaften. Wir können alle Arten von Keramik-Achshülsen nach Kundenwunsch verarbeiten.
Parameter der Keramik-Achshülse
Technische Eigenschaften |
||||
Index |
Einheit |
Wert |
||
Materialname |
Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid |
Drucklos gesintertes Siliziumkarbid |
Rekristallisiertes Siliziumkarbid |
|
Zusammensetzung |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Schüttdichte |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Biegefestigkeit |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90–100 (1400 °C) |
Druckfestigkeit |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Härte |
Taste |
2700 |
2800 |
/ |
Hartnäckigkeit brechen |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Wärmeleitfähigkeit |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Wärmeausdehnungskoeffizient |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Spezifische Wärme |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maximale Temperatur in der Luft |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastizitätsmodul |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Semicorex produzierte keramische Achshülsen in drei Formen: reaktionsgesintertes Siliziumkarbid (RBSiC), drucklos gesintertes Siliziumkarbid (SSiC) und rekristallines Siliziumkarbid (R-SiC).
Der Unterschied zwischen SSiC und RBSiC:
1. Der Sinterprozess ist anders. RBSiC soll bei niedriger Temperatur freies Si in Siliziumkarbid infiltrieren, SSiC entsteht durch natürliche Schrumpfung bei 2100 Grad.
2. SSiC hat eine glattere Oberfläche, eine höhere Dichte und eine höhere Festigkeit. Für einige Dichtungen mit strengeren Oberflächenanforderungen ist SSiC besser.
3. Unterschiedliche Nutzungsdauer bei unterschiedlichem pH-Wert und unterschiedlicher Temperatur, SSiC ist länger als RBSiC
Merkmale der Keramik-Achshülse
- Hohe Festigkeit (Mohs-Härte 9,5, an zweiter Stelle nach Diamant)
- Korrosionsbeständigkeit gegenüber Säuren, Laugen, Salzen und organischen Lösungsmitteln
- Hohe Wärmeleitfähigkeit, Plasmabeständigkeit, lange Lebensdauer
- Halbleiter
Verfügbare Formen von Siliziumkarbidkeramik:
● Keramikstab / Keramikstift / Keramikkolben
● Keramikrohr / Keramikbuchse / Keramikhülse
● Keramikring / Keramikscheibe / Keramikabstandshalter
● Keramikscheibe
● Keramikplatte / Keramikblock
● Keramikkugel
● Keramikkolben
● Keramikdüse
● Keramiktiegel
● Andere kundenspezifische Keramikteile