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Keramik-Achshülse
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Keramik-Achshülse

Semicorex bietet Keramik in Halbleiterqualität für Ihre OEM-Halbfabrikationswerkzeuge und Wafer-Handhabungskomponenten. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Siliziumkarbid-Beschichtungsfolien. Unsere Keramik-Achshülse hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Siliziumkarbid (SiC) ist eine synthetische, halbleitende Feinkeramik, die sich in einem breiten Spektrum industrieller Märkte bewährt. Die Keramik-Achshülse von Semicorex bietet sowohl hochdichte als auch offenporöse Strukturen, kombiniert mit der hervorragenden Hochtemperaturfestigkeit und Thermoschockbeständigkeit des Materials sowie von Natur aus beeindruckenden mechanischen Eigenschaften. Wir können alle Arten von Keramik-Achshülsen nach Kundenwunsch verarbeiten.


Parameter der Keramik-Achshülse

Technische Eigenschaften

Index

Einheit

Wert

Materialname

Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid

Drucklos gesintertes Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid

Zusammensetzung

RBSiC

SSiC

R-SiC

Schüttdichte

g/cm3

3

3,15 ± 0,03

2,60-2,70

Biegefestigkeit

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C) 90–100 (1400 °C)

Druckfestigkeit

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

Härte

Taste

2700

2800

/

Hartnäckigkeit brechen

MPa m1/2

4.5

4

/

Wärmeleitfähigkeit

W/m.k

95

120

23

Wärmeausdehnungskoeffizient

10-6.1/°C

5

4

4.7

Spezifische Wärme

Joule/g 0k

0.8

0.67

/

Maximale Temperatur in der Luft

1200

1500

1600

Elastizitätsmodul

Gpa

360

410

240


Semicorex produzierte keramische Achshülsen in drei Formen: reaktionsgesintertes Siliziumkarbid (RBSiC), drucklos gesintertes Siliziumkarbid (SSiC) und rekristallines Siliziumkarbid (R-SiC).


Der Unterschied zwischen SSiC und RBSiC:

1. Der Sinterprozess ist anders. RBSiC soll bei niedriger Temperatur freies Si in Siliziumkarbid infiltrieren, SSiC entsteht durch natürliche Schrumpfung bei 2100 Grad.

2. SSiC hat eine glattere Oberfläche, eine höhere Dichte und eine höhere Festigkeit. Für einige Dichtungen mit strengeren Oberflächenanforderungen ist SSiC besser.

3. Unterschiedliche Nutzungsdauer bei unterschiedlichem pH-Wert und unterschiedlicher Temperatur, SSiC ist länger als RBSiC


Merkmale der Keramik-Achshülse

- Hohe Festigkeit (Mohs-Härte 9,5, an zweiter Stelle nach Diamant)

- Korrosionsbeständigkeit gegenüber Säuren, Laugen, Salzen und organischen Lösungsmitteln

- Hohe Wärmeleitfähigkeit, Plasmabeständigkeit, lange Lebensdauer

- Halbleiter


Verfügbare Formen von Siliziumkarbidkeramik:

● Keramikstab / Keramikstift / Keramikkolben

● Keramikrohr / Keramikbuchse / Keramikhülse

● Keramikring / Keramikscheibe / Keramikabstandshalter

● Keramikscheibe

● Keramikplatte / Keramikblock

● Keramikkugel

● Keramikkolben

● Keramikdüse

● Keramiktiegel

● Andere kundenspezifische Keramikteile




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