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Achshülse aus Keramik
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Achshülse aus Keramik

Semicorex bietet Keramik in Halbleiterqualität für Ihre OEM-Halbfabrikationswerkzeuge und Waferhandhabungskomponenten. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Beschichtungsfilmen aus Siliziumkarbid. Unsere Keramik-Achshülse hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Siliziumkarbid (SiC) ist eine synthetische, halbleitende Feinkeramik, die sich in einem breiten Querschnitt industrieller Märkte auszeichnet. Die Semicorex-Keramik-Achshülse bietet die Verfügbarkeit sowohl hochdichter als auch offenporiger Strukturen, auch in Kombination mit der herausragenden Hochtemperaturfestigkeit und Temperaturwechselbeständigkeit des Materials sowie von Natur aus beeindruckenden mechanischen Eigenschaften. Wir können alle Arten von Keramik-Achshülsen verarbeiten an die Anforderungen der Kunden.


Parameter der Keramik-Achshülse

Technische Eigenschaften

Index

Einheit

Wert

Material Name

Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid

Drucklos gesintertes Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid

Komposition

RBSiC

SSiC

R-SiC

Schüttdichte

g/cm3

3

3,15 ± 0,03

2,60-2,70

Biegefestigkeit

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

Druckfestigkeit

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

Härte

Knoop

2700

2800

/

Hartnäckigkeit brechen

MPa·m1/2

4.5

4

/

Wärmeleitfähigkeit

W/m.k

95

120

23

Der Wärmeausdehnungskoeffizient

10-6.1/°C

5

4

4.7

Spezifische Wärme

Joule/g 0k

0.8

0.67

/

Maximale Temperatur in der Luft

1200

1500

1600

Elastizitätsmodul

Gpa

360

410

240


Semicorex produzierte keramische Achshülsen in drei Formen: reaktionsgesintertes Siliziumkarbid (RBSiC), drucklos gesintertes Siliziumkarbid (SSiC) und rekristallines Siliziumkarbid (R-SiC).


Der Unterschied zwischen SSiC und RBSiC:

1. Der Sinterprozess ist anders. RBSiC soll freies Si bei niedriger Temperatur in Siliziumkarbid infiltrieren, SSiC wird durch natürliches Schrumpfen bei 2100 Grad gebildet.

2. SSiC hat eine glattere Oberfläche, eine höhere Dichte und eine höhere Festigkeit. Für einige Dichtungen mit strengeren Oberflächenanforderungen ist SSiC besser.

3. Unterschiedliche Nutzungszeiten bei unterschiedlichen pH-Werten und Temperaturen, SSiC ist länger als RBSiC


Merkmale der Keramik-Achshülse

- Hohe Festigkeit (Mohs-Härte 9,5, übertroffen nur von Diamant)

- Korrosionsbeständigkeit gegenüber Säuren, Laugen, Salzen und organischen Lösungsmitteln

- Hohe Wärmeleitfähigkeit, Plasmabeständigkeit, lange Lebensdauer

- Halbleiter


Verfügbare Formen von Siliziumkarbid-Keramik

â Keramikstab / Keramikstift / Keramikkolben

â Keramikrohr / Keramikbuchse / Keramikhülse

â Keramikring / Keramikscheibe / Keramikabstandshalter

â Keramikscheibe

â Keramikplatte / Keramikblock

â Keramikkugel

â Keramikkolben

â Keramikdüse

â Keramiktiegel

â Andere kundenspezifische Keramikteile




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