Batch-Wafer-Boot

Semicorex bietet Waferboote, Sockel und kundenspezifische Waferträger für vertikale/Säulen- und horizontale Konfigurationen an. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Beschichtungsfilmen aus Siliziumkarbid. Unser Batch Wafer Boat hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Semicorex Batch Wafer Boat werden aus hochwertigem Siliziumkarbid-Keramikmaterial für hervorragende chemische Beständigkeit und thermische Stabilität hergestellt.
Unser Batch Wafer Boat hat eine glatte Oberflächenbeschaffenheit und bietet eine hervorragende Unterstützung und Schutz der Wafer während der Verarbeitung. Die SiC-Beschichtung sorgt für Gleichmäßigkeit und Stabilität während der Verarbeitung und schützt die Wafer vor Verschmutzung und Beschädigung. Mit ausgezeichneter Wärmeleitfähigkeit und überlegener mechanischer Festigkeit liefern unsere Waferhalter konsistente und zuverlässige Ergebnisse.
Unser Expertenteam ist bestrebt, die beste Qualität und den besten Service zu bieten. Wir bieten kundenspezifische Designs an, um Ihre spezifischen Anforderungen zu erfüllen, und unsere Batch-Waferboote werden durch unser Qualitätssicherungsprogramm unterstützt.

Parameter des Chargenwaferboots

Technische Eigenschaften
Index	Einheit	Wert
Material Name		Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid	Drucklos gesintertes Siliziumkarbid	Rekristallisiertes Siliziumkarbid
Komposition		RBSiC	SSiC	R-SiC
Schüttdichte	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Biegefestigkeit	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Druckfestigkeit	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Härte	Knoop	2700	2800	/
Hartnäckigkeit brechen	MPa·m1/2	4.5	4	/
Wärmeleitfähigkeit	W/m.k	95	120	23
Der Wärmeausdehnungskoeffizient	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Spezifische Wärme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximale Temperatur in der Luft	℃	1200	1500	1600
Elastizitätsmodul	Gpa	360	410	240

Der Unterschied zwischen SSiC und RBSiC:

1. Der Sinterprozess ist anders. RBSiC soll freies Si bei niedriger Temperatur in Siliziumkarbid infiltrieren, SSiC wird durch natürliches Schrumpfen bei 2100 Grad gebildet.

2. SSiC hat eine glattere Oberfläche, eine höhere Dichte und eine höhere Festigkeit. Für einige Dichtungen mit strengeren Oberflächenanforderungen ist SSiC besser.

3. Unterschiedliche Nutzungszeiten bei unterschiedlichen pH-Werten und Temperaturen, SSiC ist länger als RBSiC

Merkmale des Batch-Oblatenboots

- Hohe Festigkeit (Mohs-Härte 9,5, übertroffen nur von Diamant)
- Korrosionsbeständigkeit gegenüber Säuren, Laugen, Salzen und organischen Lösungsmitteln
- Hohe Wärmeleitfähigkeit, Plasmabeständigkeit, lange Lebensdauer
- Halbleiter