Waferboote

Semikorex-Waferboote, die aus Siliziumcarbid (SIC) mit hohem Purity hergestellt werden, sind wesentliche Komponenten bei der Herstellung von Halbleitern. Die Halbleiterprozesse, in denen sie verwendet werden, umfassen typischerweise Hochtemperatur- und korrosive Umgebungen wie Diffusions-, Oxidations- und LPCVD-Prozesse. Die Anwendung von SIC -Waferbooten wurde entwickelt, um die thermische Stabilität und den chemischen Widerstand zu maximieren und eine optimale Unterstützung, Ausrichtung und Transport von Siliziumwafern während der Verarbeitung für optimale Erträge und Geräteleistung zu ermöglichen.

Siliziumkarbid ist als ausgezeichnetes thermisch leitfähiges Keramik gut dokumentiert, der eine hohe mechanische Festigkeit und eine überlegene thermische Stoßwiderstand, Oxidationsbeständigkeit und aggressive chemische Resistenz mit Chemikalien wie HF und HCL aufweist. Die Eigenschaften von SIC machen es besonders attraktiv als Material für Waferboote für Halbleiterherstellungsprozesse der nächsten Generation und in Hochtemperaturumgebungen. SIC -Waferboote können die strukturelle Integrität und die dimensionale Stabilität bei Prozesstemperaturen von> 1500 ° C aufrechterhalten und das Risiko eines Verziehens oder einer Kontamination von Wafern bei kritischen thermischen Behandlungen minimieren.

Jeder sicWaferbootwird aus hoher Purity sic unter Verwendung fortschrittlicher Keramikform- und Sinterprozesse hergestellt und kann auf einen umfangreichen Bereich von Waferdurchmessern (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) sowie auf Stapelkonfigurationen, ob vertikal oder horizontal, zugeschnitten werden. Unsere SIC -Waferboote haben glatte Oberflächen und eine hervorragende Flachheit, die die Partikelerzeugung minimiert und ideal für automatisierte Waferhandhabungssysteme sind.

Kontaminationskontrolle und Ertrag sind zwei der kritischsten Probleme in modernen Fabriken. Sauberkeit und Zuverlässigkeit der SIC -Wafer -Träger beeinflussen die Leistung der Produktqualität und Konsistenzprozess.  SIC -Waferboote haben eine viel bessere Langlebigkeit für die Nutzung, haben weniger Wartungsanforderungen und niedrigere TCO als Quarz- oder Aluminiumoxid -Alternativen. Bessere Langlebigkeit bedeutet auch weniger Probleme mit dem Absatz von Mikropartikeln. Daher wirkt sich dies wiederum auf die Sauberkeit der Waferoberfläche und die Auswirkungen auf die Sauberkeit der sauberen Raum.

Semicorex konzentriert sich auf die Gestaltung und Herstellung von SIC -Waferbooten, die die höchstmöglichen Reinheit Rohstoffe in Kombination mit einem Sintern mit geringer Kontamination verwenden.  Wir bemühen uns, niedrige Verunreinigungsniveaus aufrechtzuerhalten, die Porosität mit geringem Wert und einheitlicher Mikrostruktur aufrechtzuerhalten, sodass die Arbeit des Teams regelmäßig konsistente thermische Eigenschaften, einen präzisen Abstand und einen konkurrenzlosen chemischen Abbauwiderstand genießen kann.

Semicorex sicWaferbootesind ein notwendiges Element der Hochtemperaturverarbeitung von Halbleitern. Mit hoher Purity-Silizium-Kohlenhydrat-Waferboote haben beispiellose Materialeigenschaften, konstruierte Exzellenz und mikrokontaminationsfreie Temperament und machen sie zur Auswahl auf hoher Leistung für die Herstellung von Leistungswafern. Semicorex bietet die Zuverlässigkeit und innovative hohe Leistung, um Ihre missionskritischsten Halbleiterprozesse zu unterstützen.