Empfängerscheibe

Die Semicorex Susceptor Disc besteht aus hochreinem Graphit und ist mithilfe der MOCVD-Technik mit einer Schicht aus Siliziumkarbid (SiC) beschichtet. Sie kombiniert außergewöhnliche thermische Eigenschaften mit bemerkenswerter chemischer Stabilität. Die Siliziumkarbidbeschichtung gewährleistet eine hervorragende Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und korrosive Bedingungen und ist entscheidend für die Aufrechterhaltung der Integrität der Suszeptorscheibe in anspruchsvollen Umgebungen.

Darüber hinaus verbessert die SiC-Beschichtung der Suszeptorscheibe deren Wärmeleitfähigkeit, was eine schnelle und gleichmäßige Wärmeverteilung ermöglicht, die für ein konsistentes epitaktisches Wachstum entscheidend ist. Es absorbiert und strahlt Wärme effizient ab und sorgt so für eine stabile, gleichmäßige Temperatur, die für die Abscheidung dünner Filme unerlässlich ist. Diese Gleichmäßigkeit ist entscheidend für die Erzielung qualitativ hochwertiger Epitaxieschichten, die für die Funktionalität und Leistung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente von grundlegender Bedeutung sind.

Das Design der Susceptor Disc berücksichtigt auch die Herausforderung der Wärmeausdehnung. Sein minimaler Wärmeausdehnungskoeffizient sorgt für eine starke Verbindung mit den Epitaxieschichten und verringert so das Risiko von Rissen aufgrund thermischer Zyklen. Diese Funktion ermöglicht in Verbindung mit dem hohen Schmelzpunkt und der hervorragenden Oxidationsbeständigkeit der Suszeptorscheibe einen zuverlässigen Betrieb unter extremen Bedingungen.

Mit diesen fortschrittlichen Eigenschaften erfüllt die Susceptor Disc nicht nur die strengen Anforderungen moderner MOCVD-Anwendungen, sondern übertrifft diese sogar und bietet eine zuverlässige, leistungsstarke Lösung, die die Gesamteffizienz und Leistung des epitaktischen Wachstumsprozesses steigert.