Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.
Hochreine SiC-Keramikkomponenten sind für Prozesse im Halbleiter von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Verbrauchsteilen für Wafer-Verarbeitungsgeräte wie Siliziumkarbid-Waferboote, Cantilever-Paddel, Rohre usw. für Epitaxie oder MOCVD.
Vorteile für Halbleiterprozesse
Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert eine Konstruktion aus hochreinem Siliziumkarbid (SiC), die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bietet.
Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.
Auslegerpaddel →
Cantilever Paddle ist eine entscheidende Komponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird, insbesondere in Diffusions- oder LPCVD-Öfen bei Prozessen wie Diffusion und RTP.
Prozessrohr →
Das Prozessrohr ist eine entscheidende Komponente, die speziell für verschiedene Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie RTP und Diffusion entwickelt wurde.
Waferboote →
Wafer Boat wird in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt und wurde sorgfältig entwickelt, um sicherzustellen, dass die empfindlichen Wafer während der kritischen Produktionsphasen sicher aufbewahrt werden.
Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.
Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.
Semicorex bietet auch Keramikprodukte aus Aluminiumoxid (Al2O3), Siliziumnitrid (Si3N4), Aluminiumnitrid (AlN), Zirkonoxid (ZrO2), Verbundkeramik usw. an.
C/SiC-Keramikmatrix-Verbundwerkstoffe sind ein neuartiges thermisches Struktur-/Funktionsintegrationsmaterial, das die Vorteile von Metall-, Keramik- und Kohlenstoffmaterialien vereint und die Eigenschaften hoher Temperaturbeständigkeit, geringer Dichte, hohem Festigkeitsverhältnis und hohem spezifischem Modul aufweist. Oxidationsbeständigkeit, Ablationsbeständigkeit, Unempfindlichkeit gegenüber Rissen und keine katastrophalen Schäden. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenEntdecken Sie den Inbegriff von Leistung und Haltbarkeit im Bereich der Halbleiterausrüstung mit unserer hochmodernen Deckelabdeckung aus SiC-beschichtetem Graphit. Diese scheibenförmige Komponente wurde fachmännisch für verschiedene Halbleiteranwendungen entwickelt und bietet eine einzigartige Kombination aus Graphit und Siliziumkarbid (SiC)-Beschichtung zur Verbesserung der Funktionalität und Effizienz. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenErleben Sie den Inbegriff von Präzision bei der Oberflächenveredelung von Halbleiterwafern mit unserer hochmodernen Siliziumkarbid-Wafer-Schleifscheibe. Diese scheibenförmige Komponente, die sorgfältig für Halbleitergeräte entwickelt wurde, definiert die Standards des Oberflächenschleifens neu und sorgt für optimale Ergebnisse bei Halbleiterwafern. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenErzielen Sie beispiellose Präzision bei der Oberflächenbearbeitung von Halbleiterwafern mit unserer hochmodernen SiC-Wafer-Schleifscheibe. Diese wesentliche Komponente wurde sorgfältig für den Einsatz in Halbleitergeräten entwickelt und speziell dafür entwickelt, optimale Ergebnisse bei Wafer-Schleifanwendungen zu erzielen. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SiC Heater Siliziumkarbid-Heizelemente sind ein Spezialwerkzeug für die Handhabung und Verarbeitung von Halbleiterwafern. Dieses entscheidende Gerät spielt eine entscheidende Rolle bei der Schaffung der optimalen thermischen Umgebung, die für die Produktion hochwertiger Halbleiterbauelemente erforderlich ist. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex SiC Wafer Carrier in Semiconductor ist ein Spezialwerkzeug für die Handhabung und Verarbeitung von Halbleiterwafern. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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