SiC-Disc-Receiver

Mit einem starken Engagement für Qualität und Innovation setzt der hochreine SiC-Scheibensuszeptor von Semicorex einen neuen Standard für die Leistung von Epitaxie-, MOCVD- und RTP-Geräten. Durch die Kombination außergewöhnlicher Thermoschockbeständigkeit, überlegener Wärmeleitfähigkeit, hervorragender chemischer Beständigkeit und ultrahoher Reinheit ermöglichen diese technischen Komponenten Halbleiterherstellern, beispiellose Effizienz, Zuverlässigkeit und Produktqualität zu erreichen. Die anpassbaren Lösungen von Semicorex stellen darüber hinaus sicher, dass jede Wärmeverarbeitungsanwendung von optimierten, präzisionsgefertigten Komponenten profitiert, die auf ihre individuellen Anforderungen zugeschnitten sind.

Hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit:Der SiC Disc Susceptor zeichnet sich dadurch aus, dass er schnellen Temperaturschwankungen standhält, die bei RTP und anderen Hochtemperaturprozessen häufig vorkommen. Diese außergewöhnliche Thermoschockbeständigkeit gewährleistet strukturelle Integrität und Langlebigkeit, minimiert das Risiko von Schäden oder Ausfällen aufgrund plötzlicher Temperaturänderungen und erhöht die Zuverlässigkeit der thermischen Verarbeitungsausrüstung.

Überlegene Wärmeleitfähigkeit:Eine effiziente Wärmeübertragung ist bei thermischen Verarbeitungsanwendungen von entscheidender Bedeutung. Die hervorragende Wärmeleitfähigkeit des SiC Disc Susceptor gewährleistet eine schnelle und gleichmäßige Erwärmung und Abkühlung, was für eine präzise Temperaturkontrolle und Prozessgleichmäßigkeit unerlässlich ist. Dies führt zu einer verbesserten Prozesseffizienz, kürzeren Zykluszeiten und qualitativ hochwertigeren Halbleiterwafern.

Außergewöhnliche Chemikalienbeständigkeit:Der SiC-Scheibensuszeptor bietet eine hervorragende Beständigkeit gegen eine Vielzahl korrosiver und reaktiver Chemikalien, die in Epitaxie-, MOCVD- und RTP-Prozessen verwendet werden. Diese chemische Inertheit schützt den darunter liegenden Graphit vor Zersetzung, verhindert eine Kontamination der Prozessumgebung und gewährleistet eine gleichbleibende Leistung über längere Betriebszeiträume.

Ultrahohe Reinheit: Der SiC-Scheibensuszeptor wird nach extrem hohen Reinheitsstandards sowohl für Graphit als auch für die SiC-Beschichtung hergestellt, wodurch das Risiko einer Kontamination vermieden und die Produktion fehlerfreier Halbleiterbauelemente gewährleistet wird. Dieses Bekenntnis zur Reinheit bedeutet höhere Erträge und eine verbesserte Geräteleistung.

Verfügbarkeit komplexer Formen:Die fortschrittlichen Fertigungskapazitäten bei Semicorex ermöglichen die Produktion des SiC-Scheibensuszeptors in komplexen Formen, die auf spezifische Kundenanforderungen zugeschnitten sind. Diese Flexibilität ermöglicht die Entwicklung maßgeschneiderter Lösungen, die genau auf die Anforderungen verschiedener thermischer Verarbeitungsanwendungen zugeschnitten sind und so die Prozesseffizienz und Gerätekompatibilität verbessern.

Einsetzbar in oxidierenden Atmosphären:Die robuste CVD-SiC-Beschichtung bietet hervorragenden Schutz vor Oxidation, sodass der SiC-Scheibensuszeptor in oxidierenden Umgebungen zuverlässig funktioniert. Dies erweitert ihre Anwendbarkeit auf ein breiteres Spektrum thermischer Prozesse und gewährleistet Vielseitigkeit und Anpassungsfähigkeit.

Robuste, wiederholbare Leistung:Der SiC Disc Susceptor wurde für Hochtemperatur- und Vakuumumgebungen entwickelt und bietet robuste und wiederholbare Leistung. Aufgrund ihrer Haltbarkeit und Konsistenz eignen sie sich ideal für kritische thermische Verarbeitungsanwendungen, reduzieren Ausfallzeiten und Wartungskosten und gewährleisten eine langfristige Betriebszuverlässigkeit.

Semicorex ist auf die kundenspezifische Anpassung von CVD-SiC-beschichteten Komponenten spezialisiert, um den vielfältigen Anforderungen von Wärmeverarbeitungsanlagen gerecht zu werden, darunter:

Diffusoren:Verbessern Sie die Gleichmäßigkeit der Gasverteilung und die Prozesskonsistenz.

Isolatoren:Bieten thermische Isolierung und Schutz in Umgebungen mit hohen Temperaturen.

Andere kundenspezifische thermische Komponenten:Maßgeschneiderte Lösungen zur Erfüllung spezifischer Prozessanforderungen und zur Optimierung der Anlagenleistung.