SiC-beschichteter Graphitsuszeptor für MOCVD

Semicorex ist ein großer Hersteller und Lieferant von mit Siliziumkarbid beschichteten Graphitsuszeptoren in China. Wir konzentrieren uns auf Halbleiterindustrien wie Siliziumkarbidschichten und Epitaxiehalbleiter. Unser SiC-beschichteter Graphit-Suszeptor für MOCVD hat einen guten Preisvorteil und deckt viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.

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Produktbeschreibung

Semicorex SiC-beschichteter Graphit-Suszeptor für MOCVD ist ein hochreiner, mit Siliziumkarbid beschichteter Graphitträger, der im Prozess zum Aufwachsen der Epixialschicht auf dem Wafer-Chip verwendet wird. Es ist die Mittelplatte in MOCVD, die Form eines Zahnrads oder Rings. SiC-beschichteter Graphit-Suszeptor für MOCVD hat eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, die eine große Stabilität in extremen Umgebungen aufweist.
Bei Semicorex verpflichten wir uns, unseren Kunden qualitativ hochwertige Produkte und Dienstleistungen anzubieten. Wir verwenden nur die besten Materialien, und unsere Produkte sind so konzipiert, dass sie die höchsten Qualitäts- und Leistungsstandards erfüllen. Unser SiC-beschichteter Graphit-Suszeptor für MOCVD ist da keine Ausnahme. Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr darüber zu erfahren, wie wir Ihnen bei der Verarbeitung Ihrer Halbleiterwafer helfen können.

Parameter des SiC-beschichteten Graphitsuszeptors für MOCVD

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickers-Härte	2500
Körnung	Î¼m	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J·kg –1 ·K –1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegefestigkeit	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4pt Biegung, 1300â)	430
Wärmeausdehnung (CTE)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300

Merkmale des SiC-beschichteten Graphitsuszeptors für MOCVD

- Vermeiden Sie ein Ablösen und stellen Sie sicher, dass alle Oberflächen beschichtet sind
Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit: Stabil bei hohen Temperaturen bis zu 1600 °C
Hohe Reinheit: Hergestellt durch CVD-CVD unter Hochtemperatur-Chlorierungsbedingungen.
Korrosionsbeständigkeit: hohe Härte, dichte Oberfläche und feine Partikel.
Korrosionsbeständigkeit: Säure, Alkali, Salz und organische Reagenzien.
- Erzielen Sie das beste laminare Gasströmungsmuster
- Gewährleistung der Gleichmäßigkeit des thermischen Profils
- Verhindern Sie jegliche Kontamination oder Diffusion von Verunreinigungen